Přestaňte hádat teplotu waferů Pokud se snažíte vytvořit „chytrou továrnu“, pravděpodobně jste si uvědomili, že reagovat na problémy až poté, co...

Při výrobě na povrchu waféru není 90 °C pouze teplotou – jedná se o „teplotní rozpočet“ určený k kontrole šířky linek. Pokud se teplota sníží o půl...