Přestaňte hádat teplotu waferů
Pokud se snažíte vytvořit „chytrou továrnu“, pravděpodobně jste si uvědomili, že reagovat na problémy až poté, co nastanou, je noční můra. Potřebujete vidět, co se děje právě teď.
Ale problém s nástroji na zpracování waferů spočívá v tom, že na substrát nemůžete prostě připevnit termočlánek. Tím byste kontaminovali celou šarži nebo fyzicky pokazili wafer. To prostě nefunguje.
Proto využíváme vysoce efektivní infračervené systémy. Místo toho, abychom se dotýkali waferu, tyto senzory prostě „sledují“ tepelné záření a převádějí ho na digitální data. Během několika milisekund tak dostanete kompletní mapu teplot na celém waferu. Je to rychlé – opravdu rychlé.
Nad rámec jednotlivých čísel
Mnoho lidí si myslí, že „přechod na digitální formát“ znamená pouze umístění obrazovky na stroj. Není to tak. Jde o detaily.
Infračervený senzor vám neposkytuje pouze jednu průměrnou hodnotu teploty. Poskytuje vám prostorovou mapu. Když ji připojíte k systému PLC nebo SCADA, máte možnost vidět aktuální mapu teplot uvnitř nástroje.
Zde začíná to zajímavé. Můžete nastavit uzavřený okruh řízení. Pokud se na okraji waferu objeví chladné místo, systém to okamžitě zachytí a upraví teplotu ohřevových prvků. Žádné ruční úpravy, žádné odhady.
Skutečnost optiky
Není to všechno magie. Vysokorychlostní infračervené snímání vyžaduje dokonalý výhled.
Pokud se na čočce nahromadí chemikálie z procesu, vaše měření budou nesprávná. To se stává. Aby se to opravilo, musíte plánovat cyklus čištění čoček nebo použít ochrannou plynovou clonu, aby okno zůstalo čisté. Pokud tento krok vynecháte, vaše data budou nesprávná a budete znovu muset hádat.
Úprava pro konkrétní podmínky
Víme, že prostor v nástrojích je velmi omezený. Téměř není tam místo na cokoliv dalšího.
Tyto systémy navrhujeme tak, aby se do nich snadno zastrčily. Převodem analogových signálů teploty na digitální pakety eliminujeme šumy, které obvykle sužují vysokonapěťové prostředí. V podstatě jde o náhradu za staré analogové senzory.
Kromě toho tyto data skvěle fungují s analýzami pomocí umělé inteligence. Místo toho, abyste se divili, proč se wafery deformují, můžete vidět přesný tepelný gradient, který způsobil ty problémy. To celý proces udělá mnohem méně stresujícím.