Při výrobě na povrchu waféru není 90 °C pouze teplotou – jedná se o „teplotní rozpočet“ určený k kontrole šířky linek. Pokud se teplota sníží o půl stupně, výsledné výrobky budou mít vady, které se projeví až po zpracování. Vytvořili jsme infračervenou lampu určenou k použití s nástroji společnosti Applied Materials, aby se tato odchylka minimalizovala.
Co je technicky důležité
Jedná se o krátkovlnné infračervené záření, přizpůsobené absorpci fotoresistů, které používáte. Skutečným ukazatelem je tepelná jednotnost: ±0,1 °C v celé ploše waféru během procesu vypalování. Nejde o údaje z brožury – ty se měří pomocí kalibrovaných termoelementů v prostředí s proudem procesního plynu. Tento parametr zůstává konstantní během celé doby vypalování. Kvartový obal a keramické součásti jsou vhodné pro provoz v čistých místnostech, určené pro provoz v kategoriích 1–100, bez vzniku částic po dosažení stabilního stavu.
Opakovatelnost výsledků zůstává v rozmezí 1 % po dobu více než 5 000 hodin, takže stejný profil lampy zajišťuje konzistentní výsledky u každé série výrobků.
Proč je to důležité
Nástroje společnosti Applied Materials pracují v přesně řízených teplotních cyklech, a zpracování fotoresistů je citlivé na rychlost změny teploty a dobu působení tepla. Lampa lze snadno umístit do stávající komory bez změny mechanického spojení, a reakce systému na změny je dostatečně rychlá na to, aby teplota zůstala na požadované úrovni během změny plynu nebo otevírání/dzávírání dveří.
Výsledkem je méně oprav – tím se zlepšuje výtěžnost. Také se šetří energie, protože lampa se ohřívá pouze v okamžiku potřeby, nikoli v režimu čekání. Proces může probíhat stabilně, pokud zůstává teplotní profil konstantní, a nemusíte se zabývat odchylkami v měřeních.
Praktické detaily
Lampa funguje s standardními konektory a ovládacími prvky společnosti Applied Materials, ale je potřeba ověřit konkrétní typ konektorů a úchytek v závislosti na verzi nástroje a konfiguraci komory. Je nutné provést krátké testování, abyste zjistili, jak teplota reaguje na vaše waféry, a nastavili správnou hodnotu teploty. V čistých místnostech s vysokou vlhkostí je potřeba udržovat chladicí potrubí suché a dobře ventilované – kondenzace může způsobit selhání systému a přerušení procesu vypalování. Jakmile je systém nastaven správně, není potřeba žádná další kalibrace kromě běžné kontroly senzorů.