
在运行100级洁净室时,所谓的“近似清洁”根本不够用。哪怕有一小片灰尘或一丝化学蒸汽出现,整个生产批次都会毁掉。
问题在于,大多数加热元件其实都很脏。它们会脱落碎片,而且一旦开始发热,就会释放出挥发性有机化合物。对于那些希望维持无菌环境的人来说,这无疑是个噩梦。
因此,我们选择使用高纯度的合成石英作为红外灯的材质。
为什么石英如此重要? 我们使用的都是几乎不含杂质的熔融石英。为什么呢?因为当热量不断变化时,廉价的玻璃材料会开始变质,从而产生微小的颗粒物。而使用高纯度石英则可以避免这种情况。这样就能获得所需的温度,同时不会让颗粒物掉落到晶圆上。不用再担心这个问题真是件好事。
关于热量的问题 这些灯具有很高的功率密度,能够快速达到目标温度。不过,这么大的能量会产生大量的热量。因此,必须确保照明装置的冷却系统能够正常工作。如果冷却不好,可能会导致设备变形,或者引发我们想要避免的气体泄漏现象。
保持密封性 我们避免了使用任何多孔材料或传统粘合剂,只使用了经过精密加工的密封端盖。这样的设计能够确保内部的气体不会泄漏出去。即使灯因受热而膨胀或收缩,它仍然能保持密封状态。这样就不会有泄漏、污染或应力问题。
如何将它们安装到生产设备中 如果您已经拥有红外灯管,那么这些新灯管可以直接替代旧灯管。由于这些材料的纯度非常高,因此不会影响洁净室内的空气流动。它们能够提供干净的辐射热源,而不会污染空气。
最后一个小提示:请确保电源电压与灯具要求一致。否则,灯具的寿命将会大大缩短。