光伏硅片加热器

在晶圆厂车间，持续24/7运行的光刻生产线对热漂移没有任何容忍度。将软烘烤温度偏离目标仅2°C，光刻胶的剖面即会发生变化。关键尺寸控制开始失效，良率受到影响，计划调度被迫临时停止。在大批量光伏硅片加工过程中，热预算不仅仅是一个指导原则——它就是整个工艺的基础。 核心技术要点 我们基于可重复的温度控...