Mengurangkan pengeluaran karbon dalam proses pengeringan MEMS menggunakan cahaya inframerah
Ketika membuat sensor MEMS, membuang kelembapan dari wafer tersebut merupakan proses yang rumit. Anda perlu membuang air tersebut, tetapi anda tidak boleh menggunakan haba secara langsung, kerana ia akan merosakkan keseluruhan komponen tersebut.
Itulah sebabnya kita menggunakan lampu inframerah berpanjang gelombang pendek. Berbeza dengan kaedah pemanasan biasa yang memanaskan udara dan dinding di sekelilingnya, cahaya inframerah bertindak secara langsung pada molekul air. Ini bermakna tiada keperluan untuk memanaskan udara terlebih dahulu.
Hentikan pemanasan udara.
Fikirkan tentang ketuhar konveksi biasa. Ia memerlukan tenaga yang banyak untuk memanaskan udara di dalam ketuhar sebelum wafer dapat dipanaskan. Cahaya inframerah pula berfungsi dengan lebih efisien; ia memfokuskan haba tepat ke tempat yang diperlukan. Ini bermakna masa yang diperlukan untuk memanaskan wafer menjadi lebih singkat. Anda juga tidak perlu membazir tenaga untuk menunggu mesin panas sepenuhnya. Lampu inframerah dapat mencapai suhu yang diinginkan dalam masa beberapa saat sahaja. Apabila stok seterusnya belum siap, anda boleh mematikan lampu tersebut. Tiada pembaziran tenaga.
Masalah di bilik bersih.
Dalam persekitaran MEMS, serbuk debu yang sedikit pun boleh merosakkan keseluruhan produk yang dihasilkan. Untuk mengelakkan ini, kita menggunakan kemasan kuarsa yang berkualiti tinggi. Kemasan ini tidak akan mengeluarkan zarah-zarah debu atau gas berbahaya. Namun, ada satu masalah: untuk mencapai suhu yang tinggi, filamen lampu harus menanggung tekanan yang tinggi. Jika tidak berhati-hati, filamen tersebut akan rosak dengan cepat. Kita mengatasi masalah ini dengan menyeimbangkan kuasa yang digunakan dengan aliran udara penyejuk di sekeliling filamen lampu.
Keseimbangan antara haba dan efisiensi.
Inilah bahagian yang rumit: semakin cepat proses pengeringan dilakukan, semakin banyak tenaga yang diperlukan. Lampu berkuasa tinggi memang efektif untuk mempercepat proses pengeringan, tetapi ia juga menghasilkan haba yang sangat tinggi—terutamanya di bahagian soket lampu. Jika sistem penyejukan tidak berfungsi dengan baik, kabel atau sensor boleh rosak. Ia merupakan situasi yang memerlukan keseimbangan yang tepat. Anda perlu memastikan peralatan kekal sejuk sambil memastikan wafer tetap kering.
Menggunakan cahaya inframerah bukan sekadar cara untuk mempercepat proses pengeringan. Ia juga merupakan cara untuk mengurangkan penggunaan tenaga yang berlebihan. Ia merupakan cara yang lebih efisien untuk mencapai matlamat neutral karbon tanpa mengorbankan kualiti produk yang dihasilkan.