Hentikan amalan memanaskan dinding ruang vakum tersebut.
Jika anda pernah menggunakan lampu IR berkuasa tinggi di dalam ruang vakum, anda pasti tahu betapa sukarnya situasinya. Memandangkan tiada udara untuk mengalirkan haba tersebut, tenaga itu akan terkumpul di dinding ruang vakum.
Ini bukan sahaja pembaziran tenaga elektrik, tetapi ia juga berbahaya. Dinding ruang vakum boleh menjadi terlalu panas sehingga boleh membahayakan orang yang bekerja di sana atau merosakkan bahan-bahan yang ingin dilindungi. Ini bukan cara yang baik untuk menjalankan kerja makmal.
Cara yang betul adalah dengan mengarahkan haba ke tempat yang sebenarnya diperlukan.
Daripada membiarkan radiasi tersebar ke semua arah, kita gunakan teknologi IR yang dapat mengarahkan haba ke titik tertentu. Bayangkan saja seperti lampu suluh, bukan mentol biasa. Kita menggunakan reflektor dalaman dan lapisan khas untuk mengarahkan haba tersebut ke permukaan wafer atau substrat yang ingin dipanaskan.
Hasilnya? Bahan yang ingin dipanaskan akan mendapat haba yang diperlukannya, manakala permukaan peralatan tetap sejuk.
Namun, anda tidak boleh sembarangan menggunakan lampu apa saja.Elemen pemanas biasa akan menyebabkan masalah besar. Jika lampu tersebut melepaskan bahan organik mudah terbakar, ia akan mencemarkan ruang vakum dan merosakkan keseluruhan produk semikonduktor yang dihasilkan.
Itulah sebabnya kita menggunakan kuarsa berkualiti tinggi serta bahan pengedap yang tahan lama. Filamen lampu direka untuk bertahan dalam suhu yang sangat tinggi tanpa merosakkan sealant vakum.
Tetapi ada satu masalah.
Apabila sinar cahaya difokuskan dengan ketat, haba yang dihasilkan sangat tinggi. Masa yang diperlukan untuk memanaskan bahan akan berkurangan dengan ketara, yang bagus. Namun, ini bermakna anda perlu berhati-hati agar tetapan kuasa lampu tepat. Jika lampu tersebut tidak diset dengan betul, substrat akan terbakar. Ia memerlukan keseimbangan yang tepat antara jarak fokus dan kuasa lampu.
Berita baiknya, unit-unit ini direka untuk menggantikan array IR biasa. Pastikan bahawa bekalan kuasa anda mampu menanggung voltan dan arus yang diperlukan—kerana unit ini menghasilkan tenaga yang lebih tinggi daripada yang biasa.