유리 파편의 위험을 막는 방법: IR 램프를 보다 효과적으로 관리하는 방법
고부하가 걸리는 생산 환경에서는 IR 램프가 깨지는 것은 큰 문제입니다. 단순히 생산이 중단되는 것뿐만 아니라, 유리 파편들이 웨이퍼 위로 떨어져서 엉망이 되어버립니다. 그러면 즉시 폐기물이 생기고, 챔버를 청소하는 데도 많은 시간이 소요됩니다.
우리는 더 나은 방법이 있어야 한다고 생각했습니다. 그래서 IR 램프를 특수 제작된 스테인리스 스틸 케이싱 안에 넣기 시작했습니다.
“안전망” 접근법
이 케이싱을 물리적인 보호막으로 생각해보세요. 이 스테인리스 스틸 케이싱들을 용접하여 격리 구역을 만듭니다. 만약 램프가 열충격이나 마모로 인해 고장 난다 해도, 파편들은 케이싱 안에 남아 있게 됩니다. 그러니 웨이퍼 위에 파편들이 떨어지지 않습니다.
우리는 스틸에 특정한 구멍을 내어 IR 복사선이 들어갈 수 있도록 했습니다. 하지만 유리 파편들은 그대로 케이싱 안에 남습니다. 스테인리스 스틸을 사용하는 이유는 고온에서도 변형되지 않아서 램프가 정확한 위치에 유지된다는 점입니다.
열 문제 해결
단점이 있다면, 고출력 램프를 사용할 때 엄청난 양의 열이 발생한다는 것입니다. 스테인리스 스틸 케이싱은 안전에는 훌륭하지만, 열을 일부 가두는 역할도 합니다.
그러므로 냉각 팬을 반드시 점검해야 합니다. 공기 흐름이 약하면 케이싱이 열 저장소 역할을 하여 램프가 더 빨리 손상될 수 있습니다. 이는 간단한 조정 작업이지만, 큰 효과를 가져옵니다.
팀의 업무를 더 용이하게 만들기
우리는 이 모듈들을 빠르게 교체할 수 있도록 설계했습니다. 전체 회로를 다시 연결할 필요가 없습니다. 그냥 케이싱을 빼내고 새 것을 넣으면 됩니다.
또한, 진공 상태나 고압 가스를 다룰 때도 아무것도 흔들리지 않도록 튼튼한 산업용 부품들을 사용합니다. 그렇게 되면 팀은 깨진 유리 조각들을 치우는 데 드는 시간을 줄이고, 웨이퍼를 처리하는 데 더 많은 시간을 할애할 수 있습니다.