클래스 100급 청정실을 운영할 때는 “거의 깨끗하다”는 수준으로는 부족합니다. 아주 작은 먼지 조각이나 화학물질 증기만 있어도 전체 제품이 망가질 수 있습니다.
문제는 대부분의 가열 소자들이 엉망인 상태라는 것입니다. 이러한 소자들은 고온이 되면 분해되고, 휘발성 유기화합물(VOC)을 방출합니다. 이는 청정한 환경을 유지하려는 사람들에게는 큰 문제가 됩니다.
그래서 저희는 IR 램프에 고순도의 합성 석영을 사용했습니다.
왜 석영이 중요한가? 저희는 거의 불순물이 없는 융합 실리카를 사용합니다. 왜냐하면 계속해서 열을 주고받으면 저가의 유리는 점차 파괴되기 때문입니다. 그로 인해 미세한 먼지가 생깁니다. 고순도의 석영을 사용하면 이런 문제를 방지할 수 있습니다. 웨이퍼 위에 입자가 떨어지지 않아 필요한 열을 얻을 수 있습니다. 이 점은 정말 큰 장점입니다.
열에 대하여 이 램프들은 매우 강력한 성능을 자랑합니다. 고출력 밀도를 가지고 있어 목표 온도에 빠르게 도달할 수 있습니다. 하지만 너무 많은 에너지가 발생하기 때문에 케이스의 냉각 시스템이 제대로 작동하는지 반드시 확인해야 합니다. 케이스가 제대로 냉각되지 않으면 프레임이 변형되거나, 우리가 피하고자 하는 가스 방출이 발생할 수 있습니다.
밀폐성 유지 저희는 다공성 재료나 일반적인 접착제를 사용하지 않았습니다. 오직 깨끗하고 정밀하게 가공된 엔드 캡만을 사용했습니다. 이렇게 하면 밀폐성이 보장되어, 내부의 할로겐 가스가 램프 안에 그대로 남아 있습니다. 램프가 열로 인해 팽창하거나 수축해도 밀폐 상태를 유지합니다. 누출도, 오염도, 스트레스도 없습니다.
제조 공장에 설치하는 방법 만약 이미 IR 램프를 사용하고 있다면, 이 램프들은 기존의 석영 램프를 간단히 교체할 수 있습니다. 재료가 매우 순수하기 때문에 청정실의 공기 흐름에 영향을 주지 않습니다. 그저 깨끗한 열원을 얻을 수 있을 뿐입니다.
한 가지 팁: 전원 공급장치의 전압이 맞는지 반드시 확인하세요. 그렇지 않으면 램프가 예상보다 훨씬 빨리 손상될 수 있습니다.