ガラスの破片を防ぐ：IRランプをより効果的に扱う方法
高負荷のファブでは、IRランプが壊れると大変なことになります。単に稼働停止だけでなく、ガラスの破片やフィラメントがウェーハに降り注ぎ、すぐに廃棄物がたまってしまいます。その場合、チャンバーの清掃に多大な時間がかかります。
私たちは、もっと良い方法があるはずだと考えました。そこで、IRランプを特別に設計されたステンレス製のケースの中に収めることにしました。
「セーフネット」としてのケース
このケースを物理的なシールドと考えてください。ステンレス製のケースを溶接して、破片が外に出ないようにします。もしランプが熱衝撃や摩耗で壊れても、破片はケースの中に留まります。ウェーハには到達しません。
ステンレスには、IR放射線が通過できるようにするための穴が開けられていますが、物理的な破片はそのままケースの中に留まります。ステンレスを使用する理由は、高温になっても変形しないからです。これにより、ランプの位置がずれることがありません。
熱対策
ただし、高出力のランプを使うと大量の熱が発生します。ステンレス製のケースは安全面では優れていますが、熱を閉じ込めてしまう傾向があります。
冷却ファンの状態を必ず確認してください。もし風量が不足していると、ケースが熱源となり、ランプが通常より早く壊れてしまう可能性があります。これは簡単な調整作業ですが、大きな違いをもたらします。
チームの作業を楽にする
私たちは、迅速に交換できるようにこのモジュールを設計しました。全体の配線を再接続する必要はありません。ケースを取り出して新しいものを挿入するだけです。
また、高圧のガスや真空環境下でも、部品が振動して外れないように、頑丈な工業用接着剤を使用しています。これにより、チームはガラスの破片の処理に費やす時間を大幅に減らし、ウェーハの処理に集中できます。