クラス100のクリーンルームを運用する際には、「ほぼ清潔」という程度では不十分です。わずかなほこりの粒子や化学物質の蒸気さえあっても、生産した製品全体が台無しになってしまいます。 問題は、ほとんどの加熱素子が汚れやすいという点です。加熱されると、揮発性有機化合物（VOC）が漏れ出します。これは、無菌環境を維持しようとする人々にとって悪夢のような状況です。 だからこそ、私たちはIRランプに高純度の合成石英を使用しているのです。 なぜ石英が重要なのか 私たちは、不純物がほとんど含まれていない融解シリカを使用しています。なぜでしょうか？それは、繰り返し加熱・冷却を行うと、安価なガラスが劣化してしまうからです。そうなると、微細なほこりが発生してしまいます。 高純度の素材を使用することで、そのような問題を防ぐことができます。必要な熱量を得つつ、ウェーハにほこりを付着させることがありません。これは大変安心できます。 熱について これらのランプは非常に強力です。高い出力密度を持っているため、目的の温度に迅速に到達できます。 しかし、その分、多くのエネルギーが集中して発生します。そのため、筐体の冷却機能が十分かどうかを確認する必要があります。筐体の冷却が不十分だと、フレームが歪んだり、避けたいべきガスの放出が起こったりする可能性があります。 密閉性の確保 通常使われる多孔質の材料や従来の接着剤は一切使用していません。純粋で精密に加工されたエンドキャップを使用しているだけです。 このようにして、密封性が確保され、内部のハロゲンガスはランプの中に留まり続けます。たとえランプが熱によって急激に膨張・収縮しても、漏れや汚染、ストレスは発生しません。 ファブ内での取り付け 既にIRアレイを持っている場合、これらは古い石英管の簡単な交換部品として利用できます。 素材が非常に純粋なため、クリーンルームの空気の流れを乱すことはありません。空気を汚染することなく、純粋な放射熱源として機能します。 ちなみに、電源の電圧が合致しているかを確認してください。そうでないと、ランプが早く破損してしまいます。