جلوگیری از آلودگی ویفرها، قبل از شروع فرآیند تولید: نگاهی واقعبینانه به ایمنی لامپها
در خطوط تولید با حجم بالا، خراب شدن لامپها مشکلات زیادی را ایجاد میکند؛ اما اگر لوله کوارتزی مربوط به لامپ نیز پاره شود، این موضوع واقعاً یک فاجعه است.
وقتی که این لولهها میشکنند، تکههای شیشهای و مواد شیمیایی روی ویفرها میافتند. این امر نه تنها فرآیند تولید را متوقف میکند، بلکه کل محصولات تولید شده را نیز از بین میبرد. ما زمان زیادی را صرف طراحی کنترلرهای دیجیتال برای خشککنهای مربوط به لامپها کردهایم تا از وقوع چنین مشکلاتی جلوگیری شود.
مقابله با گرما
بیشتر لامپها به دلیل وجود «نقاط داغ» خراب میشوند. اگر فیلامنت در یک نقطه بیش از حد گرم شود، در حالی که بقیه بخشهای لوله سرد باقی میمانند، کوارتز تحت فشار قرار گرفته و شکسته میشود. این یک قانون فیزیکی ساده است.
برای مقابله با این مشکل، از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ ضخامت دیواره این لولهها نیز به گونهای است که بتواند از انبساط ناشی از گرما جلوگیری کند. اما تجهیزات فیزیکی تنها نیمی از راه است؛ کنترلرهای دیجیتال ما نیز به طور دقیق میزان توان لامپها را کنترل میکنند. ما لامپها را بلافاصله پس از فشار دادن دکمه «شروع»، با ولتاژ کامل روشن نمیکنیم؛ بلکه از منحنی گرمایشی مرحلهای استفاده میکنیم. این روش به لوله این فرصت را میدهد که تعادل خود را حفظ کند.
«شبکه ایمنی»
حتی با بهترین لامپها نیز ممکن است مشکلاتی پیش بیاید؛ به همین دلیل اجازه نمیدهیم لامپها در معرض خطر قرار بگیرند.
ما از سپرهای کوارتزی با تخلخل بالا استفاده میکنیم؛ این سپرها به عنوان لایههای محافظ عمل میکنند. اگر لامپی خراب شود، این سپرها تکههای شیشهای را جذب میکنند؛ در نتیجه نیازی نیست کل ویفرهای گرانقیمت را دور بیندازیم. این روش بسیار بهتر است.
تعادل در توزیع گرما
نکته مهم این است که لامپهای با توان بالا، گرمای زیادی تولید میکنند؛ این گرما میتواند به لامپ آسیب برساند. اگر فنهای خنککننده کافی نباشند، گرما در نقاط اتصال لامپها تجمع میکند؛ این موضوع معمولاً باعث خرابی لامپها میشود. راز موفقیت این است که جریان هوا در سراسر لامپها تعادل داشته باشد؛ اگر یک نقطه بدون جریان هوا باشد، آن لامپ زودتر از حد معمول خراب خواهد شد.
نظارت مداوم
کنترلرهای ما به طور مداوم جریان الکتریکی هر لامپ را زیر نظر دارند. به محض اینکه فیلامنت لامپ خراب شود، سیستم متوجه این موضوع میشود؛ سپس توان الکتریکی مربوط به آن لامپ قطع شده و هشدار داده میشود. این کار بسیار مهم است؛ زیرا از خراب شدن سایر لامپها نیز جلوگیری میکند.