دیگر نیازی نیست دیوارههای محفظه خلأ را گرم کنید!
اگر تا به حال از لامپهای مادون قرمز با توان بالا در محیط خلأ استفاده کردهاید، میدانید که این کار چقدر دشوار است. از آنجایی که هیچ هوایی برای پخش کردن گرما وجود ندارد، این انرژی جایی برای رفتن ندارد؛ بنابراین در دیوارههای محفظه جذب میشود.
این کار نه تنها باعث هدررفت انرژی الکتریکی میشود، بلکه خطرناک نیز هست. در نهایت، دیوارههای داخلی محفظه میتوانند باعث سوختن اپراتور یا تخریب قطعاتی شوند که قصد محافظت از آنها را داریم. این روش مناسبی برای اجرای آزمایشات در آزمایشگاه نیست.
راهحل این است که گرما را به جایی هدایت کنیم که واقعاً به آن نیاز است.
به جای اینکه امواج مادون قرمز در تمام جهات پخش شوند، از فناوری مادون قرمز جهتدار استفاده میکنیم. میتوانید آن را مانند یک چراغ قوه در نظر بگیرید؛ نه یک لامپ معمولی. از منعکسکنندههای داخلی و پوششهای ویژه برای هدایت تمام انرژی حرارتی به سمت ویفر یا سطح مورد نظر استفاده میکنیم.
نتیجه چیست؟ سطح مورد نظر، گرمای لازم را دریافت میکند، اما بدنه تجهیزات همچنان خنک باقی میماند.
اما نمیتوانید هر لامپی را در این محفظه استفاده کنید؛ عناصر گرمایشی معمولی میتوانند فاجعهبار باشند. اگر لامپ حاوی ترکیبات 유기 فرار باشد، این ترکیبات محیط خلأ را آلوده کرده و کل محموله نیمههادیها را از بین خواهند برد.
به همین دلیل، از کوارتز با خلوص بالا و مواد لاستیکی مخصوص برای این منظور استفاده میکنیم. رشتههای الکتریکی این لامپها طوری طراحی شدهاند که بتوانند در دماهای بالا نیز کار کنند، بدون اینکه اتصال خلأ را از بین ببرند.
اما یک مشکل وجود دارد…
وقتی که پرتو نور را به این شکل متمرکز میکنیم، میزان گرما بسیار زیاد میشود. این امر باعث میشود زمان لازم برای گرم شدن تجهیزات به طور قابل توجهی کاهش یابد؛ اما این بدان معناست که باید دقیق عمل کنیم.
اگر لامپ کمی اشتباه کار کند، یا تنظیمات توان آن برای فاصله مورد نظر بیش از حد باشد، سطح مورد نظر خواهد سوخت. این یک تعادل دشوار است؛ باید فاصله کانونی و توان لامپ را با دقت تنظیم کنیم تا همه چیز درست باشد.
خبر خوب این است که این تجهیزات برای جایگزینی لامپهای مادون قرمز معمولی طراحی شدهاند. فقط مطمئن شوید که منبع تغذیه شما بتواند ولتاژ و جریان لازم را تأمین کند؛ زیرا این تجهیزات نیاز به مقدار بیشتری انرژی دارند.