Verhindern Sie die Kontaminierung der Wafern bereits im Vorfeld – Ein echter Blick auf die Sicherheit der Lampen
In einem Produktionsprozess mit hohem Durchsatz ist ein defekter Lampen eine echte Katastrophe. Doch wenn die Quarztube sogar zerbricht, dann ist das ein Albtraum. Wenn diese Tuben zerbrechen, fallen Glasscherben sowie chemische Stoffe direkt auf die Wafern. Dadurch wird nicht nur der Produktionsprozess gestoppt – sondern ganze Ladungen von Wafern werden zerstört. Wir haben viel Zeit in die Entwicklung unserer digitalen Steuergeräte sowie der Lampenkonstruktionen investiert, damit so etwas nie passiert.
Umgang mit der Hitze
Die meisten Lampen versagen aufgrund von „heißen Punkten“. Wenn die Glühfäden an einer Stelle zu heiß werden, während der Rest der Tube kühler bleibt, kommt es zum Bruch der Quarztube. Das ist einfache Physik. Um dem entgegenzuwirken, verwenden wir hochreinen, gefertigten Quarz mit einer Wandstärke, die der Ausdehnung standhält. Doch die Hardware allein reicht nicht aus. Unsere digitalen Steuergeräte steuern die Leistungsaufnahme sorgfältig. Wir geben der Lampe nicht sofort die volle Spannung, sobald man auf „Start“ drückt. Stattdessen nutzen wir eine schrittweise Erhöhung der Temperatur. So hat die Lampe Zeit, sich zu stabilisieren.
Der „Sicherheitsnetz“
Auch mit den besten Lampen können Probleme auftreten. Deshalb lassen wir die Lampen nicht ungeschützt. Wir verwenden Quarzschutzschichten mit hoher Lichtdurchlässigkeit – sie fungieren wie eine Art Schutzschicht für die Wafern. Falls eine Lampe doch ausfällt, fangen diese Schutzschichten die Scherben auf. So muss man nur eine Schutzschicht ersetzen, anstatt viele teure Wafern wegzuwerfen. Das ist doch eine viel bessere Lösung.
Das Gleichgewicht halten
Hier liegt das Problem: Hochleistungs-Lampen sind zwar gut, weil sie die Prozesse schnell abwickeln und somit die Produktivität erhöhen. Doch die hohe Hitzebelastung setzt den Lampen stark zu. Wenn die Kühlfans nicht ausreichen, sammelt sich Wärme genau an den Anschlüssen. Dort versagen meist die Dichtungen. Der Schlüssel liegt darin, sicherzustellen, dass die Luftzirkulation im gesamten Heizerbereich gleichmäßig ist. Wenn an einer Stelle keine Luft zirkuliert, wird die Lampe viel früher versagen, als eigentlich nötig wäre.
Ständige Überwachung
Unsere Steuergeräte überwachen ständig den Stromverbrauch jeder einzelnen Lampe. Sobald eine Glühfaden zerbricht, erkennt das System den offenen Schaltkreis. Es wird die Stromversorgung für diesen Bereich abgeschnitten und gleichzeitig ein Alarm ausgelöst. Das ist wichtig, denn dadurch verhindern wir, dass die anderen Lampen versuchen, „zu helfen“ – was wiederum zu einer Kettenreaktion von defekten Lampen führen könnte.