Hören Sie auf, die Wände der Vakuumkammer zu erhitzen!
Wenn Sie schon einmal Hochleistungs-IR-Lampen im Vakuum verwendet haben, wissen Sie, welche Probleme das mit sich bringt. Da es kein Luftmedium gibt, das die Wärme verteilen könnte, hat diese Energie keinen Weg, wohin sie gehen könnte. Sie bleibt einfach in den Wänden der Kammer hängen.
Das ist nicht nur ein Verschwendung von Strom – es ist sogar gefährlich. Die Innenwände können dabei beschädigt werden, oder die Teile, die eigentlich geschützt werden sollen, können beschädigt werden. Das ist sicherlich keine gute Lösung für ein Labor.
Der Trick besteht darin, die Wärme dorthin zu leiten, wo sie wirklich benötigt wird.
Anstatt zu允许 die Strahlung in alle Richtungen zu strahlen, verwenden wir direktionale IR-Technologie. Stellen Sie sich das wie eine Taschenlampe vor – anstelle einer herkömmlichen Glühbirne. Wir nutzen interne Reflektoren sowie spezielle Beschichtungen, um die gesamte Wärmeenergie direkt auf das Wafer oder Substrat zu lenken.
Das Ergebnis? Das Ziel erhält die benötigte Wärme – doch die Geräteoberfläche bleibt kühl zum Anfassen.
Aber man kann nicht einfach irgendeine Lampe verwenden. Herkömmliche Heizelemente wären eine Katastrophe. Wenn eine Lampe flüchtige organische Verbindungen abgibt, wird das Vakuum kontaminiert – und dadurch wird die gesamte Halbleiterproduktion zerstört.
Deshalb verwenden wir hochreinen Quarz sowie geeignete Dichtstoffe. Die Filamente sind so konstruiert, dass sie extremen Temperaturen standhalten können, ohne das Vakuum zu stören.
Aber es gibt einen Haken.
Wenn man den Lichtstrahl so stark fokussiert, entsteht eine hohe Wärmestrahlungsdichte. Dadurch reduzieren sich die Aufwärmzeiten erheblich – was natürlich gut ist. Doch das bedeutet auch, dass man sehr präzise vorgehen muss.
Falls die Lampe etwas falsch eingestellt ist oder die Leistung zu hoch ist, kann das Substrat beschädigt werden. Es handelt sich dabei um ein Gleichgewichtsproblem – man muss die Brennweite und die Leistung sorgfältig einstellen, damit alles richtig funktioniert.
Die gute Nachricht: Diese Geräte sind als Ersatz für herkömmliche IR-Systeme konzipiert. Stellen Sie nur sicher, dass Ihre Stromversorgung die nötige Spannung und Stromstärke liefern kann – schließlich sind diese Geräte deutlich leistungsstärker als herkömmliche Systeme.