Trong quy trình sản xuất, sự thay đổi nhiệt độ trong quá trình sấy phim ảnh không chỉ là một hiện tượng lý thuyết – đó chính là nguyên nhân gây ra sai sót trong quá trình sản xuất. Khi nhiệt độ trong khu vực xử lý wafer không được kiểm soát ở mức ±0.1°C, các kích thước quan trọng của wafer sẽ bị thay đổi, và quy trình sản xuất sẽ liên tục gặp phải những lỗi tương tự. Chúng tôi đã thiết kế mô-đun điều hòa không khí và sưởi ấm để ngăn chặn sự thay đổi nhiệt độ này, bằng cách đảm bảo việc cung cấp nhiệt diễn ra một cách ổn định và có kiểm soát chặt chẽ.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật: Mô-đun này sử dụng công nghệ sưởi ấm bằng tia hồng ngoại gần để tạo ra môi trường nhiệt độ đồng đều ở mức dưới mili mét. Nhờ đó, các wafer luôn nhận được cùng một mức nhiệt độ trong mỗi lần xử lý. Trên thực tế, điều này giúp duy trì độ ổn định trong quá trình sấy phim ảnh, đồng thời giúp kiểm soát chất lượng sản phẩm một cách hiệu quả. Thiết kế này cũng đảm bảo tính tương thích với các phòng sạch loại 1–100, bằng cách giảm thiểu sự sinh ra các hạt bụi. Ngoài ra, mô-đun này còn được thiết kế sao cho phù hợp với các yêu cầu về nhiệt độ trong quy trình sản xuất hiện đại.
Điều bạn cần biết trước khi lắp đặt: Việc lắp đặt yêu cầu phải đảm bảo rằng dòng khí và cấu trúc khu vực xử lý phù hợp với mô-đun này. Nếu cấu trúc đường ống không phù hợp, môi trường nhiệt độ sẽ bị ảnh hưởng, dẫn đến sự không đồng đều về nhiệt độ. Bạn cần tiến hành điều chỉnh mức công suất của mô-đun để phù hợp với nhu cầu sử dụng trong phòng sạch. Khi mọi thứ được điều chỉnh đúng cách, mô-đun sẽ hoạt động ổn định. Tuy nhiên, bạn cần bắt đầu với việc lựa chọn các thành phần cơ học phù hợp trước.