Đảm bảo rằng các bộ sưởi cho wafer không bị hỏng
Chúng tôi dành rất nhiều thời gian để kiểm soát độ chính xác về mặt nhiệt độ khi chế tạo các bộ sưởi cho wafer. Nhưng thực ra, mọi sự chính xác ấy cũng chẳng có ý nghĩa gì nếu lớp cách điện bị hỏng. Chỉ cần có một lỗ nhỏ trên bộ phận gia nhiệt thôi, cũng đủ để làm hỏng bộ điều khiển hoặc phá hủy toàn bộ lô sản xuất silicon. Đó quả là một tình huống kinh khủng. Vì vậy, chúng tôi không áp dụng phương pháp lấy mẫu ngẫu nhiên. Mỗi thiết bị đều phải trải qua các bài kiểm tra về khả năng chịu điện áp cao và khả năng cách điện trước khi được đưa vào sử dụng.
Cách chúng tôi thực hiện việc kiểm tra này
Chúng tôi tiến hành kiểm tra bằng cách áp dụng mức điện áp cao lên bộ phận gia nhiệt – mức điện áp cao hơn nhiều so với mức điện áp mà nó phải chịu trong quá trình sử dụng thông thường. Mục đích là để phát hiện ra những điểm yếu trong lớp cách điện. Nếu có lỗ nhỏ trên lớp phủ sứ hoặc các điểm kết nối không đảm bảo, dòng điện sẽ tăng vọt. Chúng tôi phát hiện ra những lỗi này ngay từ đầu, thay vì để chúng tồn tại cho đến khi bộ sưởi đã trải qua 50 chu kỳ nhiệt độ trong máy.
Tại sao chúng tôi lại khắt khe đến vậy?
Nếu bạn từng cố gắng sửa chữa những lỗi liên quan đến việc kết nối điện trong buồng chân không, bạn sẽ hiểu rằng đó là công việc vô cùng khó khăn. Đó là loại vấn đề khiến người ta muốn tự tử. Bằng cách đo giá trị Megaohm, chúng tôi đảm bảo rằng lớp cách điện vẫn hoạt động tốt. Nếu bộ sưởi không vượt qua được bài kiểm tra này, nó sẽ bị loại bỏ ngay lập tức. Bạn không thể “sửa chữa” lớp cách điện bị hỏng được. Nó hoặc là an toàn, hoặc là vô dụng.
Sự cân bằng cần lưu ý
Ở đây, chúng ta cần tìm ra sự cân bằng giữa tính an toàn và tốc độ. Nếu chúng tôi tăng mức độ yêu cầu về lớp cách điện, chúng tôi sẽ phải sử dụng lớp phủ dày hơn. Điều này sẽ làm tăng khả năng cản trở dòng điện giữa bộ phận gia nhiệt và wafer. Bạn sẽ có được thiết bị an toàn hơn, nhưng thời gian khởi động có thể sẽ chậm hơn một chút. Mục tiêu cuối cùng là tìm ra điểm cân bằng tốt nhất giữa tính an toàn và tốc độ cho từng trường hợp cụ thể.
Chúng tôi sẽ gửi báo cáo kiểm tra cho từng mã số sản phẩm. Như vậy, bạn có thể biết chính xác mức dòng điện rò rỉ trước khi thiết bị được vận chuyển đến nơi sử dụng.