На виробничій лінії навіть зміна температури на 0,1°C під час процедури сушіння достатня, щоб це вплинуло на якість пластини, спричинило появу шуму на її поверхні та знизило кількість готової продукції. Традиційні сушарки не можуть ефективно боротися з коливаннями температури між окремими ділянками пластини та з підвищенням концентрації частинок, які виникають відразу після теплових перепадів. Ми створили цю сушарку саме для того, щоб усунути ці проблеми.
Що є важливим у її функціонуванні
Ми підтримуємо однорідність температури на рівні пластини в межах ±0,1°C за допомогою короткохвильових інфрачервоних випромінювачів, розташованих у камері, ізольованій від зовнішнього середовища. Це дозволяє передавати тепло без випуску частинок. Система працює у чистих приміщеннях класу 1–100, а ми перевіряємо відсутність частинок шляхом постійного моніторингу. Профілі сушіння фоторезисту залишаються стабільними, а точність контролю критичних параметрів також є високою. Архітектура нагрівача дозволяє уникнути залежності температури підставки від змін температури навколишнього середовища, тож кожна партія продукції отримує однакові умови сушіння.
Чому це підходить для процесу літографії
У процесі літографії та обробки фоторезисту сушарка безпосередньо впливає на ширину ліній, ступінь зчеплення фоторезисту з поверхнею пластини та кількість залишкових розчинників. Висока однорідність температури дозволяє зменшити кількість необхідних корекцій. Сумісність із чистими приміщеннями та відсутність випуску частинок допомагають зменшити кількість дефектів. Також забезпечується стабільна робота обладнання без непланових зупинок, що дозволяє продовжувати процес виробництва. Використання енергії зменшується завдяки швидкому нагріванню та можливості роботи при низькій потужності без змін температури. Результатом є стабільні процеси, менше відхилень та передбачувані таймінги виконання завдань.
Що потрібно для встановлення
Для правильної роботи сушарки потрібен окремий джерело живлення з фільтрацією, а також система подачі азоту для підтримки чистоти повітря при максимальній температурі. Інтеграція сушарки в існуючу систему є простою, але необхідно досягти сумісності температурних характеристик та розташування кабелів з існуючим обладнанням, щоб уникнути механічних перешкод. Необхідно також провести короткий тестовий запуск, щоб налаштувати параметри сушіння; після цього профіль буде стабільним протягом усього часу роботи.