Зниження вмісту вуглецю під час сушіння MEMS-сенсорів за допомогою ІЧ-випромінювання
Під час виробництва MEMS-сенсорів необхідно ефективно позбутися вологи з поверхні пластин. Вода мусить бути усунена, але її не можна просто нагрівати – інакше все може пошкодитися.
Саме тому ми використовуємо лампи з короткохвильовим ІЧ-випромінюванням. Замість того, щоб нагрівати повітря, стіни та всі інші елементи кімнати, ІЧ-випромінювання безпосередньо впливає на молекули води. Це значно ефективніше.
Не потрібно нагрівати повітря.
Уявіть собі звичайну конвекційну піч – вона споживає велику кількість енергії. Потрібно витратити чимало грошей, щоб нагріти повітря в камері, перш ніж пластина взагалі почне реагувати на тепло. ІЧ-випромінювання працює інакше – воно фокусує тепло саме там, де це необхідно.
Це означає, що час підготовки обладнання скорочується. Не потрібно витрачати енергію на нагрівання обладнання. Лампи досягають потрібної температури за кілька секунд. Коли наступна партія ще не готова? Просто вимкніть лампи. Без зайвих витрат.
Проблеми у чистих кімнатах.
У середовищі MEMS навіть одна дрібна крапля пилу може призвести до катастрофи – вона може знищити всю партію продукції. Щоб цього уникнути, ми використовуємо кварцові корпуси високої чистоти. Вони не випускають частинок та не виділяють гази.
Але є одна проблема: щоб досягти високої температури, необхідно значне навантаження на філаменти ламп. Якщо не бути обережним, вони можуть швидко згоріти. Ми вирішуємо цю проблему, збалансовуючи потужність ламп та струм охолоджувального повітря навколо її кінців. Усе залежить від цього балансу.
Компроміс між теплом та ефективністю.
Ось у чому складність: чим швидше потрібно обробити продукцію, тим більше енергії потрібно. Лампи високої потужності дозволяють прискорити процес, але вони стають дуже гарячими – особливо біля своїх кінців.
Якщо охолодження не налаштоване правильно, може пошкодитися електропроводка чи самі сенсори. Це постійна боротьба. Потрібно підтримувати прохолоду обладнання та водночас забезпечити повну сухість пластин.
Перехід на ІЧ-випромінювання – це не лише спосіб прискорення процесу. Це також спосіб уникнення зайвих витрат та використання складних систем охолодження. Це значно ефективніший спосіб досягнення цілей щодо зниження вмісту вуглецю, без жертвування продуктивністю.