На лінії літографії можна швидко навчитися роботі: достатньо лише півградусної похибки під час обробки фоторезисту, щоб критичні розміри змінилися, а весь продукт став непридатним для використання. Ми створили високоточний термонагрівач, який запобігає цьому – він забезпечує термічну однорідність на рівні платинки при значенні ±0,1°C як під час м’якого, так і жорсткого нагрівання.
Що є важливим у цьому процесі, так це контроль, повторюваність та чистота середовища. Нагрівач використовує короткохвильове інфрачервоне випромінювання, тож швидко та точно стабілізує температуру платинки. Кварцові компоненти та архітектура, сумісна з чистими приміщеннями, дозволяють уникнути утворення частинок, що є необхідним у середовищах класу 1–100. Інтегровані системи вимірювання та керування забезпечують постійне дотримання параметрів обробки фоторезисту, навіть коли напруга на лінії змінюється.
Температура є ключовим параметром, який безпосередньо впливає на процес видалення розчинника та процес скріплення полімерів під час літографії. Наш нагрівач дозволяє досягти оптимальних умов для м’якого нагрівання, що допомагає усунути небажані ефекти, а потім здійснює жорстке нагрівання, яке покращує зчеплення перед процесом етchingу. Це призводить до кращого контролю розмірів та меншої кількості переробок. Крім того, споживання енергії зменшується, оскільки система швидко досягає заданої температури та підтримує її з мінімальними відхиленнями.
Кілька практичних порад перед тим, як вибирати цей пристрій: для його роботи потрібен окремий, фільтрований джерело живлення та належна термічна ізоляція, щоб не виникало впливу на сусідні пристрої. Очікуйте короткий час налаштувань для оптимізації процесу обробки фоторезисту. Пристрій підходить для більшості інтерфейсів, але якщо ви інтегруєте його в старіші системи, можливо, знадобиться спеціальний механічний адаптер.