На виробничій лінії вимкнення лампи для літографії не лише зупиняє роботу самої лампи, а й призводить до зупинки всього процесу, який визначає геометрію пристрою. Коли лампа починає погано функціонувати, параметри процедур нагрівання та висушування змінюються, товщина фоторезисту також змінюється, що призводить до втрати можливості стабільного виконання завдань на лінії. Запасні частини для ламп ASML розроблені так, щоб підтримувати потрібний рівень температури, що дозволяє зберігати стабільність параметрів процесу експозиції, попереднього нагрівання та висушування.
Що є важливим у цьому процесі
Ми використовуємо джерела інфрачервоного випромінювання короткої та середньої довжини хвилі, які відповідають кривій поглинання фоторезисту. Це забезпечує стабільну потужність випромінювання в діапазоні від 300 нм до 1100 нм. На поверхні пластини температура залишається стабільною – з допуском ±0,1°C. Температурні параметри також залишаються стабільними протягом більш ніж 5,000 годин, зі зниженням потужності менше ніж на 5%. Сумісність з чистими приміщеннями класу 1–100 забезпечується завдяки матеріалам з низьким рівнем випаровування та спеціальній конструкції, яка запобігає забрудненню пластини.
Під час обробки фоторезисту процедура м’якого нагрівання допомагає видалити розчинники та сформувати потрібну структуру плівки; процедура жорсткого нагрівання фіксує цю структуру перед процедурою етchingу чи імплантації. Наші лампи забезпечують точний інфрачервоний спектр, необхідний для цих процедур, без перевищення чи недостатності потужності. Це дозволяє краще контролювати критичні розміри, зменшити кількість необхідних корекцій та планувати час виконання операцій. Використання енергії залишається ефективним завдяки швидкій реакції на зміни температури та ефективному передаванню енергії. Довгий термін служби ламп також зменшує час простою обладнання.
Ось кілька речей, які потрібно знати під час встановлення ламп. Встановлення має відбуватися строго відповідно до вимог щодо орієнтації лампи та системи охолодження. Стабільність потужності залежить від стабільної напруги та рівномірного потоку охолоджуючої рідини – будь-які зміни в цих параметрах призводять до змін кривої нагрівання. Обов’язково переконайтеся, що тип з’єднувача, розміри корпусу та потужність лампи відповідають параметрам вашого обладнання ASML. Також необхідно планувати заміну ламп під час планового технічного обслуговування, щоб зберегти континуїтет процесу виробництва.