Litografi işlemlerinde, yumuşak fırınlama sırasındaki sıcaklık uniformitesi sadece arzu edilen bir özellik değildir; bu bir verimlilik kriteridir....

On the fab floor, the photoresist bake isn’t a warm-up. It’s a hard process boundary. Foto direnç pişirme işlemi üretim katında ısınma...