Üretim alanında, yumuşak veya sert pişirme işlemleri sırasında 0,1°C’lik bir sıcaklık değişimi bile CD’nin kalitesini bozmaya, yüzeyde tortular oluşmasına ve verimin düşmesine neden olabilir. Geleneksel kurutucular, termal değişimler sonrasında ortaya çıkan sıcaklık farklılıklarıyla mücadele eder. Biz ise bu tür belirsizlikleri ortadan kaldırmak için bu tip bir kurutucu geliştirdik.
Önemli olan şeyler
Sıcaklığı ±0,1°C aralığında tutmak için kuvarsla izole edilmiş bir odada kısa dalga boylu kızılötesi ısı vericiler kullanıyoruz. Bu sistem, Class 1–100 standartlarına uygun temiz odalarda çalışır ve yerleşik izleme sistemleri sayesinde hiçbir parçacık oluşmadığından emin olunur. Fotoğraflaştırıcı maddelerin pişirilme süreçleri tekrarlanabilir şekildedir; ayar noktalarının stabilitesi ±0,2°C aralığında olduğundan kritik boyutlar ve yan duvar profilleri sabit kalır. Isıtıcı yapısı sayesinde substratın sıcaklığı çevresel değişikliklerden etkilenmez; böylece her parti aynı sıcaklık koşullarını elde eder.
Neden litografi işlemleri için uygundur
Litografi ve fotoğraflaştırıcı işlemlerinde kurutucu, çizgi genişliğini, yapışma özelliğini ve geriye kalan çözücü miktarını doğrudan etkiler. Yüksek derecede sıcaklık kontrolü, daha az yeniden işlem gerektirir. Temiz oda uyumluluğu ve hiçbir parçacık oluşmaması, kusur sayısını azaltır. Ayrıca, planlanmamış duruşlar olmadığı için üretim süreci kesintisiz devam eder. Enerji tüketimi ise, ısı vericilerin hızlı şekilde çalışması ve düşük güçte çalışması sayesinde azalır. Sonuç olarak, daha stabil işlemler, daha az sapma ve güvenilir işlem süreleri elde edilir.
Kurulum sırasında ihtiyaç duyulanlar
Cihazın, tam sıcaklıkta parçacık oluşumunu önlemek için özel filtrelenmiş bir güç kaynağına ve azot gazı ile temizleme sisteminin bulunduğu bir yapıya ihtiyacı vardır. Standart raylara montajı oldukça kolaydır; ancak mekanik karışıklıkları önlemek için termal kapasite ve konektör yönlendirmelerinin mevcut ekipmanla uyumlu olması gerekir. Pişirme protokolünü belirlemek için kısa bir test yapılmalıdır; bir kez ayarlandıktan sonra bu profildeki değerler vardiyalar ve farklı wafer partileri arasında sabit kalır.