ในโรงงานผลิตชิป ความแตกต่างของอุณหภูมิเพียง 0.1°C ระหว่างกระบวนการอบชิป ก็สามารถทำให้คุณภาพของชิปลดลงได้ รวมถึงก่อให้เกิดสิ่งสกปรกบนพื้นผิวชิป และส่งผลให้อัตราการผลิตลดลงด้วย เครื่องอบชิปแบบดั้งเดิมมักมีปัญหาเรื่องความแตกต่างของอุณหภูมิระหว่างชิปต่างๆ และปัญหาเรื่องอนุภาคที่เกิดขึ้นหลังจากมีการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็ว เราจึงสร้างเครื่องอบชิปนี้ขึ้นมาเพื่อขจัดปัญหาเหล่านี้ออกไป
สิ่งที่สำคัญภายในเครื่อง
เราสามารถรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในระดับชิปไว้ที่ ±0.1°C ได้ โดยใช้เครื่องกำเนิดแสงอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นภายในห้องที่มีวัสดุควอตซ์เป็นตัวกั้น ซึ่งช่วยให้ความร้อนถูกส่งผ่านไปได้โดยไม่มีอนุภาคเกิดขึ้น เครื่องนี้สามารถทำงานได้ในห้องที่มีมาตรฐานความสะอาดระดับ Class 1–100 และเรายังสามารถตรวจสอบได้ว่าไม่มีอนุภาคเกิดขึ้นเลย ค่าอุณหภูมิที่ใช้ในการอบชิปก็มีความสม่ำเสมออยู่ที่ ±0.2°C ดังนั้นคุณภาพของชิปจึงไม่มีการเปลี่ยนแปลง โครงสร้างของเครื่องอบชิปช่วยให้อุณหภูมิของชิปไม่ได้รับผลกระทบจากการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิของสภาพแวดล้อม ดังนั้นแต่ละชุดชิปจึงมีอุณหภูมิที่สม่ำเสมอเสมอ
เหตุใดเครื่องนี้จึงเหมาะสำหรับกระบวนการผลิตชิป
ในกระบวนการผลิตชิป ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิมีผลต่อความหนาของเส้นขอบชิป ความสามารถในการยึดเกาะของสารเคมีกับพื้นผิวชิป และปริมาณสารละลายที่เหลืออยู่บนพื้นผิวชิป ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่ดีจะช่วยลดการทำงานซ้ำและการปรับแต่งกระบวนการผลิต นอกจากนี้ การที่เครื่องนี้สามารถทำงานได้ในห้องที่มีมาตรฐานความสะอาดสูง และไม่มีอนุภาคเกิดขึ้น ก็ช่วยลดจำนวนข้อบกพร่องของชิปได้ อีกทั้งยังช่วยให้เครื่องสามารถทำงานได้อย่างต่อเนื่อง โดยไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด ดังนั้นกระบวนการผลิตชิปจึงสามารถดำเนินต่อไปได้ นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะเครื่องกำเนิดแสงสามารถปรับอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว และสามารถทำงานในโหมดพักได้โดยไม่มีการสูญเสียพลังงาน ดังนั้นกระบวนการผลิตชิปจึงมีความเสถียร และมีเวลาการผลิตที่แน่นอน
สิ่งที่จำเป็นในการติดตั้ง
เครื่องนี้ต้องการแหล่งจ่ายไฟที่มีคุณภาพสูง พร้อมระบบกรองไฟ และระบบเติมไนโตรเจน เพื่อรักษาคุณภาพของเครื่องให้คงที่ในอุณหภูมิสูง การติดตั้งเครื่องนี้สามารถทำได้ง่ายบนรางมาตรฐาน แต่จำเป็นต้องปรับแต่งค่าความร้อนและทิศทางการเชื่อมต่อให้เหมาะสมกับอุปกรณ์ที่มีอยู่ เพื่อไม่ให้เกิดการรบกวนทางกล ควรมีการทดสอบเครื่องก่อนการใช้งานจริง เพื่อให้มั่นใจว่ากระบวนการอบชิปมีความสม่ำเสมอ และเมื่อตั้งค่าเสร็จแล้ว ค่าอุณหภูมิก็จะคงที่ตลอดการผลิตชิป