ในโรงงานผลิตชิป ปัญหาเรื่องการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิระหว่างกระบวนการอบแผ่นฟอโตรีซิสต์นั้นไม่ใช่เพียงแค่ทฤษฎีเท่านั้น แต่เป็นปัญหาที่ส่งผลต่อคุณภาพของชิปจริงๆ เมื่อระบบควบคุมอุณหภูมิไม่สามารถรักษาอุณหภูมิของแผ่นชิปไว้ในช่วง ±0.1°C ได้ ขนาดของชิปก็จะเปลี่ยนแปลงไป และทำให้โรงงานต้องเผชิญกับปัญหาเดิมซ้ำแล้วซ้ำเล่า เราจึงออกแบบโมดูลควบคุมอุณหภูมิขึ้นมา เพื่อหยุดปัญหาดังกล่าวตั้งแต่ต้น โดยการควบคุมอุณหภูมิให้มีความสม่ำเสมอ
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค โมดูลนี้ใช้แสงอินฟราเรดเพื่อสร้างสนามอุณหภูมิที่สม่ำเสมอในระดับต่ำกว่าหนึ่งมิลลิเมตร ทำให้แผ่นชิปมีอุณหภูมิที่สม่ำเสมอในแต่ละครั้งที่มีการอบ ในทางปฏิบัติ นั่นหมายถึงความสม่ำเสมอของอุณหภูมิระหว่างกระบวนการอบ ซึ่งช่วยให้พฤติกรรมของแผ่นฟอโตรีซิสต์มีความสม่ำเสมอในแต่ละชุดชิป นอกจากนี้ การออกแบบโมดูลนี้ยังช่วยให้สามารถใช้งานได้ในห้องที่มีมาตรฐานความสะอาดระดับ Class 1–100 ได้ เนื่องจากสามารถลดการเกิดอนุภาคสกปรกได้เกือบถึงศูนย์ และโมดูลนี้ยังถูกออกแบบมาให้เหมาะกับข้อจำกัดด้านอุณหภูมิของเทคโนโลยีการผลิตชิปสมัยใหม่ด้วย
สิ่งที่คุณควรทราบล่วงหน้า การติดตั้งโมดูลนี้ต้องมีการปรับแต่งรูปแบบการไหลของอากาศและรูปทรงของระบบท่ออากาศให้เหมาะสมกับโรงงาน หากรูปแบบการไหลของอากาศไม่เหมาะสม ก็จะทำให้สนามอุณหภูมิเปลี่ยนแปลงไป และทำให้ไม่มีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ จำเป็นต้องมีการปรับแต่งกำลังของแสงอินฟราเรดให้เหมาะสมกับสภาพห้องที่มีมาตรฐานความสะอาดเฉพาะเจาะจง เมื่อทุกอย่างถูกปรับให้เหมาะสมแล้ว โมดูลนี้ก็จะสามารถทำงานได้อย่างมีเสถียรภาพ แต่คุณต้องเริ่มต้นด้วยการปรับแต่งรูปแบบการติดตั้งให้เหมาะสมก่อน