На производственном участке достаточно колебаний температуры в пределах 0,1°C во время процесса сушки, чтобы это повлияло на качество пластинок, привело к образованию осадка и снизило эффективность производства. Традиционные сушильные устройства не способны противостоять таким колебаниям температуры и образованию частиц, которые возникают сразу после тепловых переходов. Мы разработали эту сушильную установку для устранения таких проблем.
Что важно внутри устройства Мы поддерживаем температурную однородность на уровне пластинок в пределах ±0,1°C с помощью инфракрасных излучателей коротких волн, расположенных в камере, изолированной от внешних факторов. Система работает в чистых комнатах класса 1–100. Мы контролируем отсутствие частиц с помощью встроенных датчиков. Параметры сушки фоторезиста остаются стабильными, с точностью до ±0,2°C, что позволяет контролировать размеры деталей и их форму. Архитектура нагревателя позволяет сохранять постоянную температуру подложки, независимо от изменений окружающей температуры. Это гарантирует одинаковые условия сушки для всех партий пластинок.
Почему это подходит для литографического процесса В процессе литографии и обработки фоторезиста сушильная установка напрямую влияет на ширину линий, силу адгезии и количество оставшегося растворителя. Высокая степень однородности позволяет сократить количество ошибок и необходимости повторной обработки. Соответствие требованиям чистых комнат и отсутствие частиц снижают количество дефектов. Устройство работает без сбоев, что позволяет продолжать производство. Энергопотребление снижается благодаря быстрому включению излучателей и их работе при низкой мощности. В результате процесс становится более стабильным, а времена циклов — предсказуемыми.
Что необходимо для установки Устройство требует специального источника питания с фильтрацией, а также системы очистки с использованием азота, чтобы сохранять стабильность параметров при высоких температурах. Интеграция устройства в существующую систему происходит легко, но необходимо соответствовать параметрам теплоемкости и расположению разъемов, чтобы избежать механических помех. Необходимо провести краткий тестирование для определения оптимальных параметров сушки; после этого параметры остаются стабильными на протяжении всего времени работы.