На производстве по технологии литографии можно быстро научиться правильно работать с оборудованием: даже небольшое отклонение температуры в полградуса во время процесса просушки фоторезиста может привести к изменению критических размеров компонентов, что делает продукт негодным для использования. Мы разработали высокоточные нагреватели, которые предотвращают такое явление, сохраняя температурную однородность на уровне ±0,1°C как в процессе мягкой, так и жесткой просушки.
Самое важное – это контроль, возможность повторения процедур и поддержание чистоты в помещении.
Нагреватель использует коротковолновое инфракрасное излучение, что позволяет ему быстро и точно стабилизировать температуру пластины. Кварцевые компоненты и конструкция, соответствующая требованиям чистых помещений, способствуют минимизации образования частиц, что необходимо в условиях классов чистоты 1–100. Интегрированные датчики и системы управления позволяют поддерживать заданные параметры в реальном времени, что обеспечивает последовательность процессов обработки фоторезиста даже при изменении напряжения в сети.
Температура напрямую влияет на процесс удаления растворителей и процесс скрепления полимеров в процессе литографии.
Наш нагреватель позволяет точно контролировать процесс мягкой просушки, что снижает количество опилок и других отходов. Затем происходит жесткая просушка, что улучшает адгезию фоторезиста перед процессом этичеринга. В результате улучшается контроль размеров компонентов и сокращается количество повторных процедур. Кроме того, снижается потребление энергии, так как система быстро достигает заданной температуры и поддерживает ее с минимальными отклонениями.
Несколько практических замечаний перед выбором оборудования:
Для правильной работы оборудования необходима отдельная линия питания с фильтрацией, а также надлежащая термоизоляция, чтобы избежать воздействия на соседние устройства. Потребуется некоторое время на настройку параметров оборудования в зависимости от типа фоторезиста. Устройство может работать с большинством интерфейсов, но если вы используете более старые платформы, возможно, потребуется специальный механический адаптер.