На этапе литографии единообразие температуры в процессе нагрева не является просто желательным качеством – это фактор, влияющий на качество продукции. Даже небольшое изменение температуры на 1°C может нарушить контроль за параметрами пленки и привести к появлению дефектов. Мы разработали специальные нагреватели для чистых комнат, чтобы устранить такую нестабильность на начальном этапе обработки.
Что имеет значение с технической точки зрения? Элементы коротковолнового инфракрасного излучения обеспечивают быстрое и эффективное нагревание пластины, благодаря чему температура быстро достигает заданного уровня. Единообразие температуры на поверхности пластины остается в пределах ±0,1°C, а стабильность процесса поддерживается в рамках строгих тепловых параметров. Корпус нагревателя рассчитан для использования в чистых комнатах класса 1–100; имеются герметичные соединения, а также отсутствуют видимые нити нагревателя, что предотвращает образование частиц. Работоспособность нагревателя сохраняется в течение более 5,000 часов при отклонении интенсивности нагрева менее 5%.
Процесс обработки фоторезиста не терпит неточного контроля температуры. Наши нагреватели позволяют поддерживать необходимый уровень температуры как при мягком, так и при интенсивном нагреве. Кроме того, нагреватели быстро остывают, что сокращает время цикла обработки и повышает его производительность. Потребление энергии снижается, поскольку нагревается сама пластина, а не стены камеры. В результате снижается количество необходимых корректировок, улучшается точность распределения параметров пленки, а производительность процесса остается стабильной из смены в смену.
Что необходимо учитывать при установке: необходимо соответствие геометрии портов нагревателя и параметров подачи энергии. Мы предоставляем чертежи интерфейсов и кривые калибровки, что облегчает процесс интеграции нагревателя в оборудование. Также необходимо убедиться в правильности электрических соединений, а также соблюдении требований к расстояниям между элементами оборудования для обработки пластин. Нагреватели совместимы с устройствами типа SECS/GEM. Однако, если вы хотите использовать профили нагрева, заданные в соответствии с конкретными условиями обработки, вам потребуется специальный контроллер.