Na linha de produção, o perfil de temperatura dentro da câmara PECVD é o fator que determina as características do filme formado. Se o emissor começar a funcionar de maneira irregular, isso é detectado imediatamente – o estresse no filme, a uniformidade de espessura e a quantidade de partículas também são afetados. Desenvolvemos nosso emisor infravermelho para atender às exigências térmicas dos processos modernos; ele funciona como um substituto confiável para os equipamentos internacionais que você já utiliza.
O coração do sistema é o emissor infravermelho de onda curta, que transmite calor diretamente para o quartzo e para o suporte onde o filme é depositado. A resposta é rápida, em menos de um segundo; portanto, os parâmetros de operação se ajustam rapidamente após a abertura da porta ou após qualquer alteração na configuração do processo. Em todo o lote de produtos, a uniformidade a nível de wafer fica entre ±0,1°C, o que garante que os perfis de cura do fotoresistente fiquem dentro dos padrões exigidos e protege o controle preciso do diâmetro do disco.
Compatível com salas limpas de classe 1 a 100, este sistema não gera nenhuma partícula, e seus perfis de emissão são validados até o limite de 0,1 μm. A eficiência do sistema se deve à conversão de energia resistiva em radiação. Em nossos testes, o emisor funciona 24/7, sem interrupções indesejadas.
O que faz deste sistema adequado para uso em PECVD é o respeito pelo equilíbrio térmico e pela repetibilidade dos resultados. Isso permite uma maior precisão nos processos, reduzindo o número de waferes descartados e permitindo que você planeje melhor os intervalos de manutenção. O sistema se integra às câmaras existentes sem necessidade de requalificação completa, mantendo assim sua programação e disciplina operacional intactas.
A instalação é simples, mas é necessário garantir que o sistema de ancoragem térmica e a emissividade do suporte correspondam à curva de emissão do emisor. É recomendável realizar um mapeamento rápido do perfil térmico após a instalação, para confirmar a uniformidade. Uma vez alinhado, o processo permanece estável, de turno em turno.