Na área de litografia, a uniformidade da temperatura durante o processo de aquecimento não é algo que possa ser ignorado. Trata-se de um fator crítico para a qualidade do produto final. Uma variação de 1°C na temperatura da placa de silício pode afetar o controle da espessura do fotoresistente e causar defeitos nele. Por isso, desenvolvemos aquecedores a infravermelhos para salas limpas, com o objetivo de eliminar essa variabilidade desde a origem.
O que é importante, do ponto de vista técnico:
Os elementos infravermelhos de onda curta emitem calor de forma rápida e direta sobre a placa de silício, permitindo que a temperatura desejada seja alcançada em segundos. A uniformidade da temperatura na superfície da placa permanece dentro de ±0,1°C ao longo da zona de aquecimento. Além disso, a repetibilidade dos resultados é mantida dentro de limites bem definidos. O corpo do aquecedor foi projetado para ser utilizado em salas limpas de classe 1–100, com juntas seladas e sem filamentos expostos, evitando assim a geração de partículas indesejadas. A potência de saída permanece constante por mais de 5.000 horas, com uma variação de intensidade inferior a 5%.
O processamento do fotoresistente não tolera um controle térmico inadequado. Nossos aquecedores a infravermelhos permitem ajustar a temperatura conforme necessário, tanto para processos de aquecimento suave quanto intenso. Além disso, eles esfriam rapidamente, reduzindo assim o tempo de ciclo e aumentando a produtividade. O consumo de energia também diminui, pois o aquecimento acontece diretamente na própria placa de silício, e não nas paredes da câmara. Os benefícios incluem menos necessidades de retrabalho, distribuição mais precisa da espessura do fotoresistente e desempenho confiável de um turno para outro.
O que planejar na instalação:
Certifique-se de que a geometria da porta do forno e a alimentação de energia estejam adequadas. Fornecemos desenhos técnicos e curvas de calibração para facilitar a integração dos aquecedores. Verifique também se os dispositivos elétricos utilizados são compatíveis com as condições das salas limpas. Os aquecedores são compatíveis com sistemas SECS/GEM, mas, se você desejar ajustes personalizados na temperatura, será necessário utilizar um controlador dedicado.