Na linii produkcyjnej zaledwie zmiana temperatury o 0,1°C podczas procesu suszenia wystarczy, aby doprowadzić do niejednolitości temperatury na powierzchni płytki, powstania osadów oraz spadku jakości produktu. Tradycyjne suszarki nie są w stanie skutecznie radzić sobie z takimi problemami, które pojawiają się tuż po fazach nagłych zmian temperatury. Stworzyliśmy tę suszarkę właśnie po to, by usunąć te niepewności z równania.
Co jest najważniejsze w tym urządzeniu? Utrzymujemy jednolitość temperatury na poziomie płytki w przedziale ±0,1°C, wykorzystując emitory fal krótkich do promieniowania podczerwonego w komorze izolowanej od kwarcu. Dzięki temu ciepło jest przenoszone bez powstawania cząstek. Urządzenie może funkcjonować w pomieszczeniach o klasy czystości 1–100, a my sprawdzamy brak powstawania jakichkolwiek cząstek za pomocą specjalnych sensorów. Profil suszenia fotorezystu pozostaje stały, a stabilność temperatury wynosi ±0,2°C. Dzięki temu kontrola wymiarów płytki i jej struktury jest dokładna. Architektura grzałek zapewnia, że temperatura podłoża nie zmienia się w zależności od warunków otoczenia, więc każda partia płytek otrzymuje takie samo środowisko termiczne.
Dlaczego to urządzenie nadaje się do pracy w procesach litograficznych? W procesach litograficznych suszarka bezpośrednio wpływa na grubość linii na płytki, jej przyczepność oraz ilość pozostałych rozpuszczalników. Wysoka jednolitość temperatury oznacza mniej konieczności ponownej obróbki płytek. Kompatybilność z warunkami panującymi w pomieszczeniach o wysokiej czystości oraz brak powstawania cząstek sprawiają, że liczba defektów jest niska. Urządzenie zapewnia stabilną pracę bez przerw, więc produkcja może przebiegać płynnie. Zużycie energii jest niskie, ponieważ emitory szybko dostosowują się do wymaganych warunków, a przy niskim obciążeniu pracują z małym poborem mocy. Rezultatem jest stabilna praca urządzenia, mniej awarii i przewidywalne czasy realizacji zadań.
Co jest potrzebne podczas instalacji? Urządzenie wymaga dedykowanego źródła zasilania z filtracją oraz drogi do wyrównywania ciśnienia azotu, aby zapewnić stabilną pracę przy pełnej temperaturze. Integracja urządzenia z innymi elementami jest prosta, ale należy dostosować jego masę cieplną i orientację konektorów do istniejących urządzeń, aby uniknąć konfliktów mechanicznych. Konieczna jest krótka próba uruchomienia, aby ustalić parametry suszenia; po tym czasie profil suszenia pozostaje stały niezależnie od zmian w kolejnych partiach płytek.