Na linii produkcyjnej to właśnie profil temperatury w komorze PECVD decyduje o jakości powstającej warstwy. Gdy emiter zaczyna się poruszać, można to natychmiast zauważyć – następują efekty takie jak napięcie w warstwie, nierównomierność grubości oraz liczba cząsteczek. Stworzyliśmy emiter cieplny do procesu PECVD, który spełnia wymagania dotyczące kontroli temperatury charakterystyczne dla nowoczesnych technologii produkcji. Jest to rozwiązanie, które może zastąpić istniejące urządzenia bez żadnych problemów.
Serce tego urządzenia stanowi krótkofalowy promiennik podczerwonego światła, który umożliwia bezpośrednie oddawanie ciepła do kwarcu i susceptoru. Reakcja urządzenia następuje w czasie krótszym niż sekunda, więc parametry temperatury szybko wracają do normy po otwarciu drzwi lub zmianie ustawień procesu. Jakość powstającej warstwy jest na poziomie ±0,1°C, co zapewnia prawidłowe warunki procesu wywoływania obrazu na płytkach krzemowych i chroni kluczowe parametry kontrolne.
Urządzenie jest kompatybilne z pomieszczeniami o stężeniu pyłu od klasy 1 do klasy 100. Nie wytwarza żadnych cząsteczek, a jego parametry emisji są sprawdzone nawet na poziomie 0,1 μm. Efektywność urządzenia wynika z konwersji energii oporowej na energię promieniową. W naszych testach emiter pracuje 24/7 bez żadnych przerw.
To właśnie dbałość o budżet cieplny oraz powtarzalność procesu sprawiają, że to urządzenie znajduje zastosowanie w procesie PECVD. Dzięki temu uzyskuje się lepszą spójność między poszczególnymi partiami produktów, mniej odpadów, a także możliwość planowania okresów konserwacji. Urządzenie można łatwo zintegrować z istniejącymi komorami, bez konieczności całkowitej ponownej kalibracji, dzięki czemu harmonogram produkcji i zasady jej prowadzenia pozostają bez zmian.
Instalacja jest prosta, ale konieczne jest dopasowanie parametrów termicznych susceptoru do charakterystyki emisji urządzenia. Po wymianie urządzenia należy szybko sprawdzić profil temperatury, ustalić odpowiednie ustawienia i potwierdzić jednolitość parametrów. Gdy wszystko jest już dostosowane, proces pozostaje stabilny przez cały czas.