Di area litografi, keseragaman suhu selama proses pemanasan bukanlah hal yang sekadar diinginkan saja. Hal ini merupakan faktor penentu kualitas...

Di lantai pabrik, pemanggangan photoresist bukan sekadar pemanasan. Ini adalah batas proses yang ketat. Salah suhu beberapa derajat pada soft bake...