
वेफरों के संदूषण को शुरू होने से ही रोकें: लैंपों की सुरक्षा संबंधी वास्तविक जानकारी
उच्च मात्रा में वेफरों का उत्पादन करने वाली मशीनों में, लैंपों के खराब होने से बहुत समस्याएँ होती हैं। लेकिन क्वार्ट्ज ट्यूबों के टूटने से तो यह स्थिति और भी खतरनाक हो जाती है। जब ऐसी ट्यूबें टूट जाती हैं, तो काँच के टुकड़े एवं रासायनिक पदार्थ वेफरों पर गिर जाते हैं। इससे न केवल उत्पादन प्रक्रिया रुक जाती है, बल्कि पूरा उत्पादन भी नष्ट हो जाता है। हमने अपने डिजिटल IR ड्रायर कंट्रोलरों एवं लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है, ताकि ऐसी स्थिति कभी न हो।
गर्मी से निपटना
अधिकांश लैंप “हॉट स्पॉट” के कारण ही खराब हो जाते हैं। यदि ट्यूब के किसी एक हिस्से में फिलामेंट बहुत गर्म हो जाता है, तो क्वार्ट्ज ट्यूब टूट जाती है। इस समस्या से निपटने हेतु, हम उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं; ऐसा करने से ट्यूब विस्तार को सह सकती है। लेकिन हार्डवेयर ही सब कुछ नहीं है… हमारे डिजिटल कंट्रोलर, ऊर्जा के प्रवाह को संतुलित रखने में मदद करते हैं। हम लैंपों पर तुरंत पूर्ण वोल्टेज नहीं लगाते; बल्कि धीरे-धीरे ही ऊर्जा दी जाती है। ऐसा करने से ट्यूब को स्थिर होने का समय मिल जाता है।
“सुरक्षा उपाय”
बेहतरीन लैंपों के उपयोग के बावजूद भी कभी-कभी समस्याएँ हो जाती हैं। इसीलिए हम लैंपों को बिना किसी सुरक्षा उपाय के नहीं रखते। हम उच्च-पारगम्यता वाले क्वार्ट्ज शील्डों का उपयोग करते हैं… ऐसे शील्ड वेफरों की सुरक्षा में मदद करते हैं। यदि कोई लैंप टूट जाता है, तो ये शील्ड टूटे हुए टुकड़ों को रोक लेते हैं… ऐसे में हमें महंगे वेफरों को फेंकने की आवश्यकता ही नहीं पड़ती।
संतुलन बनाए रखना
यही सबसे कठिन हिस्सा है… उच्च-वॉटेज वाले लैंप तो अच्छे ही हैं, क्योंकि वे चीजों को जल्दी ही ठीक कर देते हैं… लेकिन इतनी अधिक गर्मी से लैंपों पर बहुत दबाव पड़ता है। यदि कूलिंग फैन पर्याप्त न हों, तो गर्मी कनेक्टरों पर ही जमा हो जाती है… ऐसे में लैंप जल्दी ही खराब हो जाते हैं। इस समस्या से निपटने हेतु, हम एयरफ्लो को संतुलित रखते हैं… ऐसा करने से लैंप जल्दी ही खराब नहीं होते।
लगातार निगरानी
हमारे कंट्रोलर, हर एक लैंप की ऊर्जा-खपत पर लगातार नज़र रखते हैं। जैसे ही कोई फिलामेंट टूट जाता है, सिस्टम तुरंत ही उस लैंप को बंद कर देता है… ऐसा करने से अन्य लैंपों पर भी दबाव नहीं पड़ता… इससे लैंप जल्दी ही खराब नहीं होते।