अपने वैक्यूम चेंबर की दीवारों को गर्म न करें।
यदि आपने कभी वैक्यूम में उच्च-वाटेज वाले आईआर लैंपों का उपयोग किया है, तो आपको इसकी परेशानियाँ पता होंगी। चूँकि वहाँ हवा ही नहीं होती, इसलिए ऊष्मा कहीं भी नहीं जा सकती… वह सीधे ही चेंबर की दीवारों में जम जाती है।
यह न केवल बिजली की बर्बादी है, बल्कि यह खतरनाक भी है। ऐसी स्थिति में चेंबर की आंतरिक दीवारें इतनी गर्म हो जाती हैं कि ऑपरेटर को चोट पहुँच सकती है, या वही उपकरण नष्ट हो सकते हैं जिन्हें आप सुरक्षित रखना चाहते हैं। यह तो प्रयोगशाला चलाने का बिल्कुल भी अच्छा तरीका नहीं है।
वास्तविक समाधान यह है कि ऊष्मा को वहीं भेजा जाए, जहाँ उसकी आवश्यकता है।
360 डिग्री में ऊष्मा फैलने के बजाय, हम दिशात्मक आईआर तकनीक का उपयोग करते हैं… इसे एक साधारण बल्ब के बजाय टॉर्च के रूप में ही सोचें। हम आंतरिक परावर्तकों एवं विशेष कोटिंगों का उपयोग करके उस ऊष्मा को सीधे ही वेफर/सब्सट्रेट पर भेजते हैं।
परिणाम? आपके लक्ष्य को आवश्यक ऊष्मा मिल जाती है, लेकिन उपकरण की बाहरी सतह ठंडी ही रहती है।
लेकिन आप कोई भी लैंप वहाँ इस्तेमाल नहीं कर सकते… सामान्य हीटिंग तत्व तो विनाशकारी ही होंगे। यदि लैंप से वोलाटाइल ऑर्गेनिक यौगिक निकलें, तो वह वैक्यूम को दूषित कर देगा, एवं आपके सभी सेमीकंडक्टर उत्पाद नष्ट हो जाएंगे।
इसीलिए हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज एवं सीलेंटों का ही उपयोग करते हैं… ऐसे घटक वैक्यूम सील को बनाए रखने में मदद करते हैं।
लेकिन एक समस्या यह है…
जब आप ऊष्मा को इतनी तीव्रता से भेजते हैं, तो ऊष्मा-घनत्व बहुत अधिक हो जाता है… इससे उपकरणों को ठीक से काम करने में कठिनाई होती है। लेकिन इसका मतलब यह है कि आपको सावधानी से ही काम करना होगा… फोकल लंबाई एवं वाटेज को सही ढंग से सेट करना होगा।
अच्छी बात यह है कि ऐसे उपकरण, सामान्य आईआर उपकरणों का ही विकल्प हैं… बस यह सुनिश्चित करें कि आपका पावर सप्लाई उच्च वोल्टेज एवं करंट को संभाल सके… क्योंकि ऐसे उपकरणों से निकलने वाली ऊष्मा सामान्य उपकरणों की तुलना में बहुत अधिक होती है।