על פני הוואפר, בישול בטמפרטורה של 90°C אינו רק עניין של טמפרטורה – זו גם הטמפרטורה שקובעת את רוחב הקווים שנוצרים בתהליך ההדפסה. אם תעלו את טמפרטורת ההתכה בחצי מעלה, המוצרים שייווצרו יכילו פגמים שיופיעו רק לאחר תהליך הפיתוח. פיתחנו נורה באור אינפרא-אדום עבור כלי העבודה של Applied Materials, כדי לשלוט בשינויי הטמפרטורה.
מה חשוב מבחינה טכנית?
מדובר באור אינפרא-אדום באורך גל קצר, שמותאם לספיגת החומר הפוטורזיסט שאנו משתמשים בו. המדד החשוב באמת הוא האחידות התרמית – ±0.1°C על פני שטח הוואפר במהלך תהליך ההתכה. זה לא נמדד רק לפי מסמכי היצרן – המדידה נעשית באמצעות תרמוקפלים מדויקים, והערכים נשמרים לאורך כל תהליך ההתכה. המעטפת של הנורה עשויה מקוורץ, והחלקים השונים שלה מתאימים לשימוש בחדרי ניקיון מדרגה 1–100, כך שלא נוצרות חלקיקים במהלך התהליך.
שימושיתות הנורה
נורה זו עובדת עם החיבורים הסטנדרטיים של Applied Materials, אך עדיין יש צורך לוודא את סוג החיבור והמסגרת שבה היא מותקנת, בהתאם לדגם הכלי ולהגדרות החדר. יש לבצע בדיקה קצרה כדי לוודא שהטמפרטורה נשמרת ברמה הרצויה. בחדרי ניקיון בעלי לחות גבוהה, יש לוודא שצינורות הקירור יבשים ומונעים היווצרות טחורים; טחורים עלולים לגרום להפסקת התהליך. לאחר שהנורה מותקנת כראוי, אין צורך בכיול נוסף, חוץ מהבדיקות הרגילות של החיישנים.