Arrêtez de deviner les températures des wafers
Si vous essayez de créer une « usine intelligente », vous avez sûrement réalisé que réagir aux problèmes après qu’ils se soient produits est un cauchemar. Il est nécessaire de savoir ce qui se passe en ce moment même.
Mais voilà le problème avec les outils utilisés pour manipuler les wafers : on ne peut pas simplement brancher un thermocouple sur le substrat. Cela contaminerait toute la série de wafers ou endommagerait physiquement le wafer lui-même. C’est donc impossible.
C’est pourquoi nous recourons à des systèmes infrarouges à haute efficacité. Au lieu de toucher le wafer, ces capteurs surveillent simplement la radiation thermique et la transforment en données numériques. On obtient ainsi une carte de température complète du wafer en quelques millisecondes. C’est rapide… vraiment rapide.
Au-delà d’un seul chiffre
Beaucoup de gens pensent que « passer au numérique » signifie simplement ajouter un écran à une machine. Ce n’est pas le cas. Il s’agit plutôt des détails.
Un capteur infrarouge ne fournit pas simplement une valeur moyenne de température. Il fournit plutôt une carte spatiale. Lorsque cette information est envoyée vers votre système PLC ou SCADA, vous disposez d’une carte thermique en temps réel de l’intérieur de l’outil.
C’est là que ça devient intéressant. On peut mettre en place un système en boucle fermée. Si une zone froide apparaît sur le bord d’un wafer, le système la détecte immédiatement et ajuste les éléments de chauffage en conséquence. Pas de réglages manuels, pas de devinages.
La réalité complexe de l’optique
Ce n’est pas tout magique. Les capteurs infrarouges à haute vitesse nécessitent une vision parfaite.
Si des produits chimiques s’accumulent sur la lentille, les lectures deviennent erronées. Cela arrive souvent. Pour y remédier, il faut prévoir un cycle de nettoyage de la lentille ou utiliser un gaz protecteur pour maintenir la lentille propre. Sans cela, les données deviennent inexactes, et on revient au point de devoir deviner.
Adapter les systèmes aux contraintes existantes
Nous savons que l’espace disponible dans les outils est très restreint. Il n’y a presque pas de place pour quoi que ce soit.
Nous concevons ces systèmes de manière à ce qu’ils s’intègrent parfaitement dans ces espaces restreints. En transformant ces signaux thermiques analogiques en paquets numériques, nous éliminons le bruit de signal qui affecte généralement les environnements à haute tension. C’est en quelque sorte un remplaçant idéal pour ces anciennes sondes analogiques peu fiables.
De plus, ces données permettent une analyse précise du rendement grâce à l’intelligence artificielle. Au lieu de se demander pourquoi les wafers se déforment, on peut voir exactement quel gradient thermique en est la cause. Cela rend tout le processus beaucoup moins stressant.