دیگر نیازی نیست دستگاه را گرم کنید؛ بهتر است فقط ویفرها را گرم کنید.
هنگام شستشوی ویفرهای نیمههادی، به حرارت نیاز است. اما مشکل اکثر هیترهای معمولی این است که آنها انرژی را در همه جهات پخش میکنند.
این موضوع باعث میشود دیوارههای داخلی دستگاه به نوعی اسفنجهای بزرگ برای جذب حرارت تبدیل شوند. در نتیجه، سطح بیرونی دستگاه آنقدر گرم میشود که میتواند کارکنان را آسیب بزند؛ این وضعیت واقعاً وحشتناک است. همچنین، شما باید هزینه برق لازم برای گرم کردن قسمتهای فلزی دستگاه را هم پرداخت کنید، در حالی که آنها به چنین گرمایی نیازی ندارند.
ما این مشکل را با استفاده از لامپهای مادون قرمز جهتدار حل کردیم.
نکته کلیدی، تمرکز انرژی است.
فکر کنید به تفاوت بین لامپ روشنایی و فلاشلایت؛ این لامپها از منعکسکنندهها و پوششهای ویژهای برای هدایت انرژی به سمت جلو استفاده میکنند. حرارت به سطح مورد نظر میرسد و در آنجا میماند. در نتیجه، دیگر نیازی نیست با «حرارت اضافی» مبارزه کنید؛ انرژی فقط روی ویفر تمرکز میشود و سطح دستگاه خنک باقی میماند.
ساختار مناسب برای محیطهای مرطوب.
استانداردهای شستشو، محیطهای مرطوبی را در بر میگیرند. اگر لامپ معمولی را در آنجا قرار دهید، خیلی زود خراب خواهد شد.
به همین دلیل، ما از درپوشها و اتصالات ضدآب استفاده میکنیم؛ همچنین، ظروف کوارتزی را نیز طوری طراحی کردهایم که بتوانند در برابر رطوبت و گازهای شیمیایی مقاومت کنند.
هشداری درباره جریان حرارتی:
نکته مهم این است که در حالی که بقیه بخشهای دستگاه خنک باقی میمانند، شما مقدار زیادی انرژی را روی یک ناحیه کوچک متمرکز میکنید. باید مراقب باشید؛ اگر ماده مورد استفاده شما نتواند در برابر چنین حرارت بالایی مقاومت کند، ممکن است تغییر شکل دهد. زمانبندی نیز بسیار مهم است؛ اگر چند ثانیه اشتباه کنید، خطر گرم شدن بیش از حد ویفر وجود دارد. بنابراین، باید دقیق عمل کنید.
روش نصب:
نکته خوب این است که پس از تغییر، دیگر نیازی نیست هزینه زیادی برای خنک کردن دستگاه صرف کنید؛ هزینه برق شما کاهش مییابد و محیط کار برای کارکنان نیز ایمنتر میشود.
فقط یک نکته: حتماً تنظیمات لامپ را به درستی انجام دهید. اگر منعکسکننده لامپ حتی ۵ درجه اشتباه تنظیم شود، نقطه گرمایش تغییر خواهد کرد؛ در نتیجه، دوباره دیوارههای دستگاه گرم خواهند شد. حتماً یک دقیقه وقت بگذارید تا تنظیمات لامپ را به درستی انجام دهید.