در کارخانه
انحراف دما در حین پخت فوتورزیست یک تمرین آکادمیک نیست. این موضوع به صورت تغییر عرض خطوط، چسبندگی ضعیف و ویفرهایی که به سطل زباله میروند، بروز میکند. در MEMS، جایی که بودجه حرارتی محدود و فیلمها نازک هستند، ممکن است به دلیل یک انحراف ۰.۵ درجه سانتیگراد، بازدهی خود را از دست بدهید. شما به یک بخاری نیاز دارید که نقطه تنظیم را مانند گیره نگه دارد، چرخه به چرخه.
چه چیزی در زیر سطح اهمیت دارد بخاری مادون قرمز ساخت MEMS ما بر اساس عناصر مادون قرمز موج کوتاه (SWIR) در طراحی تقویتشده با کوارتز ساخته شده است، بنابراین به سرعت با حرارت تابشی پاسخ میدهد. در سراسر ویفر، یکنواختی در ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند و قابلیت تکرار در میلیثانیه اندازهگیری میشود، نه در دقیقه. این بخاری مناسب اتاقهای تمیز کلاس ۱–۱۰۰ است و به گونهای ساخته شده که هیچ ذرهای تولید نکند—نه گازدهی، نه ریزش. تأمین انرژی پایدار است، با تحمل ولتاژ دقیق و تابش پایدار، بنابراین پروفایل حرارتی روی فوتورزیست در طول پخت نرم و پخت سخت پیشبینیپذیر باقی میماند.
چرا در MEMS کار میکند MEMS توالیهای طولانی و حساسی را اجرا میکند: پوشش فوتورزیست، پخت نرم، تابش، توسعه، پخت سخت و سپس بستهبندی. با این بخاری، صفحه داغ دما را بدون نقاط داغ یا افت دما در لبهها نگه میدارد. نتیجه این است که تعداد کارهای دوبارهکاری کمتر، کنترل CD دقیقتر و زباله کمتر خواهد بود. مصرف انرژی کاهش مییابد زیرا SWIR به طور مستقیم ویفر را گرم میکند، نه سختافزار اطراف را. قابلیت اطمینان برای عملیات ۲۴/۷ طراحی شده است و چرخه حرارتی بر عملکرد تأثیر منفی نمیگذارد.
جزئیات عملی بخاری به طور تمیز ادغام میشود، اما شما باید آن را با مسیر ویفر همراستا کنید و emissivity حامل را تنظیم کنید. انتظار داشته باشید که یک دوره کوتاه راهاندازی برای تنظیم قدرت و زمان نگهداری برای دسته مقاومتی خاص خود داشته باشید. پس از اینکه این تنظیمات را دقیقاً انجام دادید، فرآیند قفل میشود.