در فرآیند لیتوگرافی، یکنواختی دمای گرمایش، چیزی نیست که بتوان آن را نادیده گرفت؛ بلکه یک عامل مهم برای کنترل کیفیت تولید است. اختلاف دمای ۱ درجه سانتیگراد در سطح ویفر، باعث اختلال در کنترل ابعاد ویفر شده و منجر به ایجاد نقصهایی در فوتورزیست میشود. ما هیترهای ماوراءبنفش خود را طوری طراحی کردهایم که این نوسانات را از ریشه حذف کنند.
از نظر فنی، چه چیزی اهمیت دارد؟
عناصر ماوراءبنفش کوتاهموج، گرما را به صورت سریع و مستقیم به ویفر منتقل میکنند؛ بنابراین دمای مورد نظر در عرض چند ثانیه به حد مطلوب میرسد. یکنواختی دما در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند، و تکرارپذیری فرآیند نیز در چارچوب محدودیتهای حرارتی مشخصی صورت میگیرد. بدنه هیترها برای استفاده در اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ طراحی شدهاند؛ اتصالات آنها نیز بسته هستند و هیچ رشته الکتریکی در معرض دید نیست، تا از ایجاد ذرات در فضای اتاق جلوگیری شود. توان خروجی هیترها در طول بیش از ۵،۰۰۰ ساعت کار، ثابت باقی میماند و اختلاف دما کمتر از ۵٪ است.
فرآیند فوتورزیست، کنترل ضعیف دما را تحمل نمیکند. هیترهای ماوراءبنفش ما، دمای مناسب برای فرآیندهای گرمایشی مختلف را فراهم میکنند؛ سپس به سرعت سرد میشوند تا زمان انجام فرآیند کاهش یافته و بازدهی تولید افزایش یابد. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا ویفر خود گرم میشود، نه دیوارههای محفظه. نتیجه این امر، کاهش تعداد محصولات نیازمند تعمیر، توزیع یکنواختتر ابعاد ویفر، و عملکرد قابل پیشبینی در طول ساعات کاری مختلف است.
نکاتی که باید در هنگام نصب در نظر بگیرید:
باید هندسه دریچههای هیتر و منبع تغذیه انرژی آن را متناسب با نیازهای خود تنظیم کنید. ما نقشههای مربوط به اتصالات و منحنیهای کالیبراسیون را نیز فراهم میکنیم تا ادغام هیترها در سیستم به راحتی انجام شود. همچنین، باید مطمئن شوید که سیستمهای الکتریکی مورد استفاده در اتاق پاکسازی مناسب باشند، و فاصلههای لازم برای برداشتن ویفر نیز رعایت شده باشد. هیترهای ما با سیستمهای SECS/GEM سازگار هستند؛ اما اگر میخواهید از الگوهای گرمایشی مبتنی بر دستورالعملهای خاص استفاده کنید، به یک کنترلر جداگانه نیاز خواهید داشت.