Hören Sie auf, Ihre Maschine zu erhitzen – heizen Sie stattdessen die Wafer.
Beim Spülen von Halbleiterwafern ist Wärme notwendig. Das Problem bei den meisten Standardheizern ist jedoch, dass sie Energie in alle Richtungen abgeben. Dadurch werden die Innenwände der Geräte zu „riesigen Schwämmen“, die die Wärme speichern. Dadurch wird die Außenseite des Gehäuses so heiß, dass die Bediener daran verbrannt werden können – das ist eine Katastrophe. Zudem muss man weiterhin Geld für die Beheizung von Metallteilen ausgeben, die diese Wärme eigentlich nicht benötigen.
Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir direktional arbeitende Infrarotlampen verwendet haben.
Der Trick liegt in der Fokussierung
Stellen Sie sich das wie den Unterschied zwischen einer Glühbirne und einer Taschenlampe vor. Anstatt die Wärme überallhin zu verteilen, nutzen diese Lampen Reflektoren sowie spezielle Beschichtungen, um die Energie gezielt nach vorne zu leiten. Die Wärme trifft somit nur die gewünschte Fläche – die übrige Energie bleibt dort, wo sie hingehört. Dadurch bleibt die Außenseite der Maschine kühl.
Für Bereiche mit Feuchtigkeit konzipiert
Spülstationen sind feucht – Punkt. Wenn man dort eine Standardlampe einsetzt, funktioniert sie schnell nicht mehr oder brennt aus. Deshalb verwenden wir wasserdichte Dichtungen und Steckverbindungen, die gegen Feuchtigkeit resistent sind. Zudem werden die Quarzkörper so behandelt, dass sie der Feuchtigkeit sowie den schädlichen Chemikalien standhalten können.
Achtung: Hitzeabfluss
Es gibt einen Kompromiss: Während der Rest der Maschine kühl bleibt, konzentriert sich hier eine enorme Menge an Energie auf eine kleine Fläche. Man muss vorsichtig sein – wenn das Material dieser lokalen Hitze nicht standhält, kann es beschädigt werden. Die Zeit ist entscheidend: Schon wenige Sekunden Verspätung können dazu führen, dass die Wafer überhitzt werden. Es handelt sich dabei um eine hocheffektive Methode – daher muss man sehr präzise vorgehen.
Einrichtung
Das Beste daran: Sobald man auf diese Methode umsteigt, muss man keine teuren Kühllüfter mehr benutzen, um das Gehäuse vor Überhitzung zu schützen. Die Stromkosten sinken, und die Arbeitsumgebung wird für die Mitarbeiter sicherer.
Tipp bei der Einrichtung: Stellen Sie sicher, dass die Ausrichtung perfekt ist. Wenn der Reflektor auch nur um 5 Grad falsch ausgerichtet ist, verschiebt sich der heiße Punkt. Plötzlich wird wieder das Gehäuse statt der Wafer erhitzt. Nehmen Sie sich die Zeit, alles richtig auszurichten.