Jak zajistit, aby vaše ohřívače waferů neexplodovaly
Při výrobě ohřívačů waferů věnujeme hodně času otázkám spojeným s teplotními tolerancemi. Ale upřímně řečeno – veškerá ta přesnost nestačí, pokud selže elektrická izolace. Jediný malý průraz v ohřívacím elementu může zničit váš kontrolér nebo celou sérii kusů křemíku během okamžiku. Je to noční můra. Proto neprovádíme náhodné testování. Každý jednotlivý produkt prochází testem odolnosti vůči vysokému napětí a testem izolační odolnosti ještě předtím, než opustí naši továrnu.
Jak to vlastně děláme
Ohřívač podrobíme testu vysokého napětí – mnohem vyššímu, než jaké zažije při běžné práci – mezi elementem a uzemněným chassisem. Hledáme tak místa, kde by mohlo dojít k poruše izolace. Pokud je v keramickém pokryvu díra nebo špatně uzavřený kontakt, proud prudce vzroste. Tyto vady zachytíme hned, místo abychom počkali, až ohřívač projde 50 teplotními cykly ve vašem zařízení.
Proč jsme v tomto ohledu tak přísní
Pokud jste někdy zkoušeli opravit problémy s krátkým obvodem uvnitř vakuumové komory, víte, že je to opravdu náročné. Je to ten typ problému, kvůli kterému chcete trhat si vlasy. Měřením hodnot v Megaohmech zajistíme, že izolace je opravdu pevná. A pokud ohřívač neprojde tímto testem, skončí v odpadu. Nelze prostě „opravit“ poškozenou izolační vrstvu. Buď je zařízení bezpečné, nebo je to odpad.
Kompromis, o kterém byste měli vědět
Je tu potřeba najít rovnováhu. Pokud zvyšujeme požadavky na izolaci, musíme použít silnější povlaky. To zvyšuje tepelný odpor mezi elementem a waferem. Dostanete tak bezpečnější zařízení, ale doba nastartování může být o něco delší. Jde o to najít správnou rovnováhu mezi bezpečností a rychlostí pro vaše konkrétní zařízení. Pošleme vám zprávy o výsledcích testů pro každé série. Tak budete vědět přesně, jaký byl únikový proud ještě předtím, než balení dorazí na vaši plochu nakládky.