Na výrobní lince, kde lithografická linka běží 24/7, není žádný prostor pro termální drift. Posun měkkého pečení o více než 2 °C od cílové hodnoty...

Na lince 300 mm nejsou soft bake a hard bake jen tepelné kroky – jsou to brány pro výnos. Pokud vaše IR záření není rovnoměrné, uvidíte variace šířky...