ফ্যাব লেভেলে, ফটোরেসিস্ট বেক করার সময় তাপীয় ভিন্নতা কোনো তত্ত্ব নয়—এটা হলো উৎপাদন ক্ষমতা হ্রাসের কারণ। যখন হট অ্যাইলে ওয়েফারের তাপমাত্রাকে ±0.1°C-এর মধ্যে রাখা সম্ভব হয় না, তখন ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনগুলো পরিবর্তিত হয়ে যায়; ফলে প্রতিদিনই একই ধরনের ত্রুটি দেখা দেয়। আমরা ফ্যাবের এয়ার কন্ডিশনিং/হিটার মডিউলটি তৈরি করেছি, যাতে তাপ সরবরাহ নিয়ন্ত্রিত থাকে এবং এই তাপীয় ভিন্নতা রোধ করা যায়।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
এই মডিউলটি নিয়ার-ইনফ্রারেড (NIR) তাপ ব্যবহার করে অতি-সূক্ষ্ম স্তরে সমান তাপীয় পরিবেশ তৈরি করে; ফলে প্রতিবার ওয়েফারগুলো একই তাপমাত্রায় থাকে। ব্যবহারিকভাবে এর অর্থ হলো স্থিতিশীল তাপীয় পরিবেশ, যা ফটোরেসিস্টের আচরণকে স্থিতিশীল রাখে। এই ডিজাইনটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমগুলোর সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ; কারণ এটা কণা উৎপাদনকে শূন্যের কাছাকাছি রাখে। হিটারটি আধুনিক লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ার তাপীয় প্রয়োজনীয়তাগুলো পূরণ করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে।
আপনাকে আগে থেকেই কী জানা দরকার?
ইনস্টলেশনের সময় লক্ষ্যবস্তু AHU-এর বায়ুপ্রবাহ ও জিওমেট্রি বিবেচনা করতে হবে। অসামঞ্জস্যপূর্ণ ডাক্টিংয়ের কারণে তাপীয় পরিবেশ পরিবর্তিত হয়ে যায়। NIR পাওয়ার ডিস্ট্রিবিউশন ঠিক করার জন্য একটি কমিশনিং প্রক্রিয়া প্রয়োজন। একবার সঠিকভাবে সামঞ্জস্য হয়ে গেলে মডিউলটি স্থিতিশীল পারফরম্যান্স দেয়। কিন্তু শুরুতেই সঠিক যান্ত্রিক সামঞ্জস্য থাকা দরকার।