লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, নরম-বেকিং অবস্থায় তাপমাত্রার সামঞ্জস্য অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। এটা উৎপাদন কার্যক্ষমতার জন্য অপরিহার্য। ওয়েফারে ১°C এরও বেশি তাপমাত্রা পার্থক্য থাকলে CD কন্ট্রোল ব্যাহত হয়; ফলে ফটোরেজিস্টে ত্রুটি দেখা দেয়। আমরা আমাদের ক্লিনরুম-উপযোগী IR হিটারগুলো এই সমস্যা দূর করার জন্য তৈরি করেছি।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড উপাদানগুলো ওয়েফারে দ্রুত ও সরাসরি তাপ সরবরাহ করে; ফলে সেটপয়েন্ট কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই নির্ধারিত হয়ে যায়। বেকিং অঞ্চলে ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে; আর পুনরাবৃত্তির ক্ষেত্রেও তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণে থাকে। হিটারগুলো Class 1–100 ক্লিনরুমগুলোর জন্য তৈরি করা হয়েছে; এগুলোতে সিলড জয়েন্ট রয়েছে, আর কোনো খোলা ফিলামেন্ট নেই—যাতে ফ্লোরে কোনো ধূলিকণা জমে না। ৫,০০০+ ঘন্টা ধরেও হিটারগুলো স্থিতিশীল থাকে; তাপমাত্রার পরিবর্তন ৫% এরও কম হয়।
ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়ায় তাপ নিয়ন্ত্রণ অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। আমাদের IR হিটারগুলো নরম-বেকিং ও হার্ড-বেকিং উভয় ক্ষেত্রেই উপযোগী। এগুলো দ্রুত ঠান্ডা হয়ে যায়; ফলে প্রক্রিয়ার সময় কমে যায় এবং উৎপাদন কার্যক্ষমতা বাড়ে। শক্তি ব্যবহারও কমে যায়—কারণ ওয়েফারকেই গরম করা হয়, চেম্বারের দেয়ালগুলোকে নয়। ফলে রিওয়ার্কের পরিমাণ কমে যায়, CD বণ্টন আরও নিয়ন্ত্রণে থাকে, আর প্রতিদিনই নির্ভরযোগ্য পারফরম্যান্স পাওয়া যায়।
ইনস্টলেশনের সময় কী করা উচিত?
ওভেনের জিওমেট্রি ও পাওয়ার ফিডগুলো ঠিকমতো মিলিয়ে নিন। আমরা ইন্টিগ্রেশন সহজ করার জন্য ইন্টারফেস ড্রয়িং ও ক্যালিব্রেশন কার্ভগুলো সরবরাহ করি। নিশ্চিত হয়ে নিন যে আপনার কাছে ক্লিনরুম-উপযোগী বৈদ্যুতিক সরঞ্জাম রয়েছে; আর ওয়েফার হ্যান্ডলিং রোবটিক্সের জন্য পর্যাপ্ত জায়গা রয়েছে। হিটারগুলো SECS/GEM হোস্টগুলোর সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ; কিন্তু যদি আপনি নির্দিষ্ট তাপমাত্রার পরিবর্তে রেসিপি-ভিত্তিক বেকিং প্রক্রিয়া চান, তাহলে আপনাকে একটি ডেডিকেটেড কন্ট্রোলার দরকার।