ফ্যাব ফ্লোরে
ফটোরেজিস্ট বেকের সময় তাপমাত্রার বিচ্যুতি কোনও একাডেমিক অনুশীলন নয়। এটি লাইনের প্রস্থের পরিবর্তন, খারাপ আঠা এবং স্ক্র্যাপ বিনে পড়ে যাওয়া ওয়েফার হিসেবে উপস্থিত হয়। MEMS-এ, যেখানে তাপীয় বাজেট সংকীর্ণ এবং ফিল্ম পাতলা, সেখানে ০.৫°C বিচ্যুতিতে উৎপাদন হার হারাতে পারেন। আপনাকে একটি হিটার দরকার যা সেটপয়েন্টকে একটি পিস্তলের মতো ধরে রাখতে পারে, প্রতি সাইকেলে।
যা গুরুত্বপূর্ণ অন্তরে আমাদের MEMS নির্মাণ ইনফ্রারেড হিটার কাঁচের উন্নত ডিজাইনে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড (SWIR) উপাদানের উপর নির্ভরশীল, তাই এটি রেডিয়েন্ট হিটের সাথে দ্রুত প্রতিক্রিয়া জানায়। ওয়েফারের উপর সামঞ্জস্য ±০.১°C এর মধ্যে থাকে, এবং পুনরাবৃত্তি মিলিসেকেন্ডে মাপা হয়, মিনিটে নয়। এটি ক্লাস ১–১০০ ক্লিনরুমে ফিট করে এবং শূন্য কণার উৎপাদনের জন্য নির্মিত—কোনও আউটগ্যাসিং, কোনও শেডিং নেই। পাওয়ার ডেলিভারি স্থিতিশীল, শক্তিশালী ভোল্টেজ সহনশীলতা এবং সঙ্গতিপূর্ণ বিকিরণ সহ, তাই ফটোরেজিস্টের তাপীয় প্রোফাইল নরম বেক এবং কঠিন বেকে পূর্বনির্ধারিত থাকে।
কেন এটি MEMS-এ টেকে MEMS দীর্ঘ, সংবেদনশীল সিকোয়েন্সে চলে: ফটোরেজিস্ট আবরণ, নরম বেক, এক্সপোজার, ডেভেলপ, হার্ড বেক, তারপর প্যাকেজিংয়ে। এই হিটার দিয়ে, হট প্লেটটি তাপমাত্রা ধরে রাখে কোনও হট স্পট বা এজ রোল-অফ ছাড়া। এর ফলস্বরূপ পুনঃকর্ম লট কমে যায়, সিডি নিয়ন্ত্রণ কঠোর হয়, এবং স্ক্র্যাপ কম হয়। শক্তির ব্যবহার কমে যায় কারণ SWIR সরাসরি ওয়েফারকে গরম করে, চারপাশের হার্ডওয়্যারকে নয়। নির্ভরযোগ্যতা ২৪/৭ অপারেশনের জন্য নির্মিত, এবং তাপীয় সাইক্লিং কর্মক্ষমতা হ্রাস করে না।
ব্যবহারিক বিস্তারিত হিটারটি পরিষ্কারভাবে একত্রিত হয়, তবে আপনাকে এটি ওয়েফার পথের সাথে সঠিকভাবে সাজাতে এবং ক্যারিয়ারের এমিসিভিটি মেলাতে হবে। আপনার নির্দিষ্ট রেজিস্ট স্ট্যাকের জন্য পাওয়ার এবং dwell সময় টিউন করার জন্য একটি সংক্ষিপ্ত কমিশনিং উইন্ডোর আশা করুন। একবার আপনি সেই সেটিংস ঠিক করলে, প্রক্রিয়া লক করা থাকে।