في قاعة التصنيع، فإن درجة الحرارة داخل غرفة PECVD هي التي تحدد خصائص الفيلم المتكون. إذا بدأ الجهاز المستخدم في إصدار حرارة زائدة، فسيتم ملاحظة ذلك على الفور؛ حيث يؤثر ذلك على مستوى الضغط على الفيلم، وتوحيد سمكه، بالإضافة إلى عدد الجسيمات الموجودة فيه. لقد صممنا جهاز التسخين المستخدم في PECVD ليتماشى مع المتطلبات الحرارية للعمليات الحديثة، وهو بمثابة بديل مثالي للأجهزة الدولية المستخدمة حاليًا.
الجزء الأساسي من هذا الجهاز هو الإشعاع تحت الأحمر ذو الأمواج القصيرة، والذي يُستخدم لنقل الحرارة مباشرة إلى الكوارتز والجزء المستخدم في استقبال الحرارة. يكون رد الفعل سريعًا جدًا، لذا يتم تعديل الإعدادات بسرعة بعد فتح الباب أو تغيير الإعدادات. يظل مستوى التوحيد على مستوى الرقاقة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، مما يضمن أن تظل خصائص الفيلم ضمن المعايير المطلوبة، ويحافظ على دقة التحكم في أبعاد الرقاقة.
يتوافق هذا الجهاز مع الغرف النظيفة من الفئة 1 إلى الفئة 100، كما أنه لا ينتج أي جسيمات، وتم التأكد من دقة إشعاعه حتى مستوى 0.1 ميكرومتر. تأتي الكفاءة من تحويل الطاقة المقاومة إلى طاقة إشعاعية، وفي تجاربنا، يعمل الجهاز على مدار 24 ساعة دون أي توقف غير مخطط له.
ما يجعل هذا الجهاز مناسبًا للاستخدام في عمليات PECVD هو قدرته على الحفاظ على التوازن الحراري وتكرارية النتائج. يتم تحقيق توحيد أفضل بين العمليات المختلفة، ويقل عدد الرقاقات التالفة، كما يمكن التخطيط لفترات الصيانة بشكل أفضل. يمكن دمج هذا الجهاز في الغرف الموجودة حاليًا دون الحاجة إلى إعادة تأهيل الأجهزة بأكملها، مما يحافظ على جدول العمل والإجراءات المتبعة.
عملية التركيب بسيطة، لكن يجب أن يتوافق مستوى الحرارة وخصائص الإشعاع مع منحنى الإخراج للجهاز. يجب إجراء قياس سريع للمؤشرات الحرارية بعد استبدال الجهاز، ثم تأكيد توحيد الخصائص. بمجرد تحقيق التوازن، يظل العملية مستقرة من رحلة إنتاج إلى أخرى.