في مرحلة الطباعة بالحجر الضوئي، فإن توحيد درجة الحرارة أثناء عملية التسخين ليس مجرد أمر مرغوب فيه، بل هو شرط ضروري للحصول على نتائج جيدة. فأي اختلاف في درجة الحرارة بمقدار 1 درجة مئوية قد يؤدي إلى خلل في عملية التحكم في الأبعاد، كما قد يسبب ظهور عيوب في المواد المستخدمة في الطباعة. لذلك، صممنا أجهزة التسخين باستخدام الأشعة تحت الحمراء في الغرف النظيفة، وذلك للقضاء على هذه الاختلافات من المصدر نفسه.
ما الذي يُعتبر مهمًا من الناحية التقنية؟ تقوم أجهزة التسخين باستخدام الأشعة تحت الحمراء بتسخين الرقاقة بسرعة وبشكل مباشر، بحيث تصل درجة الحرارة المطلوبة في غضون ثوانٍ فقط. كما يظل مستوى توحيد درجة الحرارة على سطح الرقاقة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، ويظل مستوى الاستقرار مرتفعًا. تم تصميم أجهزة التسخين لتناسب الغرف النظيفة من الفئة 1–100، حيث تحتوي على وصلات مغلقة ولا تحتوي على أسلاك مكشوفة، مما يقلل من تكون الجسيمات في الغرفة. كما يظل مستوى الإشعاع ثابتًا لمدة تزيد عن 5,000 ساعة، مع انخفاض في مستوى الإشعاع بنسبة أقل من 5%.
لا يمكن لعملية معالجة المواد المستخدمة في الطباعة أن تتحمل أي خطأ في التحكم في درجة الحرارة. توفر أجهزة التسخين باستخدام الأشعة تحت الحمراء درجة الحرارة المناسبة لكل من عمليات التسخين اللطيفة والشديدة، كما أنها تبرد بسرعة، مما يقلل من وقت العملية ويزيد من الكفاءة. كما يقل استهلاك الطاقة، لأن الجهاز يسخن الرقاقة نفسها وليس جدران الغرفة. ويترجم ذلك في تقليل عدد الرقائق التي يجب إعادة معالجتها، بالإضافة إلى تحسين دقة الأبعاد، والحصول على نتائج مستقرة في كل جلسة عمل.
ما الذي يجب التخطيط له أثناء التركيب؟ يجب أن تتناسب مواصفات منفذ الفرن مع مواصفات أجهزة التسخين. نقدم رسومات توضيحية ومنحنيات معايرة لتسهيل عملية التركيب. تأكد من أنك تمتلك أجهزة كهربائية مناسبة للغرف النظيفة، كما يجب التأكد من وجود مسافات كافية لتحريك الرقاقات باستخدام الروبوتات. تتوافق أجهزة التسخين مع أجهزة SECS/GEM، لكن إذا كنت تريد استخدام أوضاع تسخين مخصصة بدلاً من درجات حرارة ثابتة، فسوف تحتاج إلى جهاز تحكم مخصص.