PECVD加热红外发射器

在PECVD反应室中，内部的温度分布状况决定了薄膜的质量。一旦发射器出现异常，就能立即察觉到——因为薄膜的应力、厚度均匀性以及颗粒数量都会受到影响。我们设计的PECVD加热红外发射器能够满足现代制程对温度控制的要求，因此可以轻松替代您现有的国际品牌设备。 其核心在于使用短波红外线，这种红外线能够直...