MEMS传感器晶圆干燥加热器

Sat, 25 Jul 2026 04:41:51 +0800

利用红外线技术降低MEMS器件干燥过程中的碳排放
在制造MEMS传感器时，如何去除晶圆上的水分是一项极其复杂的任务。虽然需要将水分去除，但又不能直接用高温来处理，因为那样会导致整个晶圆变形。
因此，我们使用短波红外线灯。红外线不会加热空气或房间内的其他物品，而是直接作用于水分子，从而实现精准的加热效果。
无需再加热空气了。
想想传统的对流式烤箱吧——它非常耗能。为了使烤箱内的空气达到适宜的温度，往往需要消耗大量电能，而此时晶圆还来不及感受到温度变化。而红外线灯则不同，它能将热量精确地传递到需要加热的地方。这样一来，设备的预热时间就大大缩短了。无需再浪费电能来等待设备升温。这些红外线灯可以在几秒钟内达到所需温度。当下一批产品还没有准备好时，只需关闭灯具即可，无需继续运行，自然也就不会浪费金钱了。
洁净室中的挑战。
在MEMS生产环境中，哪怕是一点灰尘都可能带来灾难性后果，因为它们可能会毁掉整批产品。为避免这种情况，我们使用高纯度的石英外壳来保护设备。这类外壳不会释放任何颗粒物，也不会产生气体。
不过，要获得如此高的热量密度，就会给灯丝带来很大压力。如果不小心处理，灯丝很可能会过早烧坏。为了解决这个问题，我们需要通过调节功率，并在灯丝周围提供持续的冷却空气，以此保持平衡。
热量控制的难题。
这里有个难题：如果你希望生产线更快地运转，那么就需要更大的功率。高功率的灯确实能提高生产效率，但同时也会产生极高的温度，尤其是灯座部位。如果冷却系统不够完善，就有可能损坏导线或传感器。这其实是一种持续的权衡——既要让硬件保持低温，又要确保晶圆表面的水分被彻底去除。
采用红外线技术，不仅可以加快生产速度，还能避免传统强制通风系统的诸多弊端。这是一种更有效的办法，有助于实现碳中和的目标，同时还能保持较高的生产效率。

微机电系统 on Custom Infrared Heating Builds

MEMS传感器晶圆干燥加热器